盛美上海12月5日发布投资者关系活动记录表，公司于2022年11月30日接受281家机构单位调研，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。

　　投资者关系活动主要内容介绍：

　　公司领导对2022年第三季度公司业绩进行了简单介绍，并就投资者关心的问题进行了回答。 问答环节

　　问：国际客户的设备交付进度及验证进展，今年新的国际开户开拓情况？

　　答：目前，公司已有1台ECP、3台PR清洗设备及1台单片清洗设备交付国际客户在中国的FAB厂，两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾，韩国，欧洲大客户。

　　问：电镀设备、ALD等等新老设备对美国零部件依赖程度怎么样，是否可以在中国大陆、日欧韩等地找到零部件替代方案？

　　答：整体来看，美国零部件的占比约在5%～10%。其中，电镀设备基本不依赖美国，而其他基本也都有替代方案，只是需要时间在生产线上验证。

　　问：在研发和制造环节，中国大陆、韩国工厂分别分担什么任务，韩国工厂未来会扩产哪些产品？

　　答：中国大陆是第一工厂，韩国工厂做为第二工厂。设置韩国工厂的目的在于增加抗御自然灾害风险能力，增加企业的可持续经营能力。韩国工厂可以生产单片机、槽式清洗设备，也可以生产炉管设备，未来还可以生产两款全新设备。

　　问：ALD设备在客户端验证情况如何，对明年炉管设备有什么样的销售预期？

　　答：该设备在今年九月份已经交付客户，正在验证中，估计将于2023年验证完成。对明年炉管设备的销售预期：高真空合金回火炉、LPCVD、高温氧化扩散炉以及ALD都有重复及新客户订单，期待明年是炉管设备销售的爆发增长年。

　　问：公司清洗设备业务中槽式设备的占比，以及槽式设备毛利率情况？

　　答：公司清洗设备业务中槽式设备的销售增长迅速，奠定了在12寸槽式清洗设备领域国内龙头地位。但从销售占比上看还是单片设备多于槽式设备。槽式清洗设备的毛利要低于单片清洗设备的毛利。

　　问：如何看待制裁后出海战略的推进是否会受到实质性影响，例如美国客户的导入是否会放缓？

　　答：通过积极利用中美两地上市的架构，公司会继续推进全球化进程。同时，公司也将加快在韩国研发生产基地的建设，与国际客户展开全方位、多产品的战略合作，加快先进制程半导体设备在国际头部客户的导入及工艺验证。目前美国的出口新规定对公司全球市场的开拓暂没有影响，因为新规没有限制国外客户。

　　问：请问公司半导体设备的技术壁垒和技术难点是什么？公司自主研发的SAPS清洗技术、TEBO清洗技术、TAHOE单片槽式组合清洗技术有何优势？被模仿的难度高吗？

　　答：清洗技术的挑战在于难度越来越大，制成节点、满足客户需求以及拓展产品品类等都是难点，而且技术还在不断革新和提升，化学温度也在不断提高，由此导致清洗设备企业需要具备全方位的知识储备。目前全世界的清洗设备就两三家企业做的比较好，也说明了清洗设备越到高端越难，并且客户端也不需要太多供应商。

　　公司自主研发的SAPS清洗技术、TEBO清洗技术都有专利，目前全世界还没有抄袭我们的，SAPS清洗技术的优点在于可以清洗平面的结构，对小颗粒清洗效果特别好；TEBO清洗技术主要用于立体结构的清洗，利用兆声波形成气泡震荡进行清洗，同时根据兆声波易爆炸的特点进行革新让气泡不爆炸，我们的这项技术全世界独有，是一个革命性的核心技术，将是未来一大亮点；TAHOE单片槽式组合清洗技术是公司首家推出的将槽式和单片结合的技术，在达到单片硫酸清洗的清洁度同时硫酸使用量可以节省50%-80%，这项技术的研发、验证均在上海完成，期待进入全球清洗供应链；上述清洗设备技术公司均拥有专利，在当今产权保护日益严苛的背景下，基本不存在被模仿的风险。谢谢！。

　　问：电镀设备是否明年会继续增长？客户导入情况如何？

　　答：今年，公司的镀铜设备销售的很好，出货量较去年大幅增。主要是获得一家前道客户的大量订单以及一家封装客户的10台批量订单。在客户导入方面，今年公司获得一家台资企业的重复订单。整体来看，预计明年公司镀铜设备仍会保持快速增长。

　　问：请问未来公司清洗设备在公司收入中的结构是怎样的，是否会是整体下降的趋势？

　　答：过去公司清洗设备只有单片，从2019年公司槽式清洗设备开始贡献收入。去年十月份，公司单片清洗设备累计达到了2000腔的出货量，今年十一月份单片清洗设备累计达到了3000腔的出货量，在一年多点的时间内，公司单片设备增长迅速。同时，今年公司槽式设备对清洗设备的订单总量有贡献，所以从相对比例来看，清洗设备整体销售量的所占比例并没有下降，还是维持在70%左右。

　　问：未来两年主营业务清洗设备这边的增速如何？如果能维持高增速，那么驱动力主要来自哪里？

　　答：清洗设备的驱动力主要有两部分。一是槽式清洗设备在成熟制程的放量。无论从技术还是客户端的反馈来看，在12寸方面公司清洗设备属于国内龙头地位，在这个领域预计未来将继续保持增长；二是在先进制程领域，超临界二氧化碳干燥技术是当今清洗设备里的最高技术，这个技术也代表未来新型3D结构所需清洗核心技术的高峰。后续公司将会在国内和国际市场同时推出该项技术，市场空间广阔。同时我们可以看到，在全球范围内，盛美是清洗设备种类最全的公司。在未来，公司希望取得国内50%的市场份额，国际上取得20%-30%左右的市场份额。

　　问：请问领导如何看待槽式和单片未来3-5年的市场规模和空间？

　　答：在先进制程领域主要使用单片设备。具体来看，在45纳米及以上，槽式设备占比80%左右，单片占比20%左右；在28纳米及以下则由槽式转向单片，此时单片占比到80%左右，槽式为20%左右。目前来看，国内的成熟制程的产线依旧保持扩张，在未来3-5年内公司坚定的看好国内45纳米和28纳米制程的发展。同时，公司在28纳米和45纳米制成程均有产品出售，未来增长空间可期。

　　问：请问公司如何保持未来的封装市场竞争优势？

　　答：受到经济大环境下行影响，先进封装市场需求有所放缓，由此导致公司在该市场的增长放慢。但预计随着经济的恢复，封装市场需求一定会增长起来。公司在封装设备布局是比较全面的。同时，公司在国内、国际市场都有独特地位，拥有一站式销售优势且产品齐全，具备较强的市场竞争优势。

　　问：请问公司现在在客户订单和交付上有什么变化吗？有放缓的信息吗？

　　答：控股股东ACMR每年年初1月份会对全年销售进行预测指引，目前每天都在变化，现阶段无法做出切实的预计。但大致公司的销售订单量还在增长，主要原因在于：首先，公司新产品的不断推出会来带一定的增量。其次，公司除了中国市场还在拓展国际市场。最后，国内的成熟制程产线还可以继续扩产。以上多方因素叠加，所以明年全球市场的上下起伏对公司影响不会太大。

　　问：机械手现在整体而言还是国外的更强，请问国内和国外机械手的具体差距在哪里？

　　答：整体来看，国产的机器水平已经做到了很好的水平，差距的原因主要在于国内企业相对较晚进入这个领域，其产品在可靠性、精准度重复性等都需要时间去验证，这需要一个过程。我们相信，在不久的未来，国内机械手产品必定能够赶上国外的产品。

　　问：哪些工艺是中韩两方团队合作的？

　　答：炉管设备、Track以及还没有公布的一款新设备都是公司两方团队共同合作研发的。这样做的好处在于，将韩国团队和中国团队的长处用到极致。目前进行下来双方供应链、人才梯度配合相当不错，研发速度也比较满意。并且盛美韩国是公司的全资子公司，也不受进出口管制。

　　问：中韩两个研发团队在进行新的技术研发时是否会存在推进速度较慢的情况？在管理角度上是否存在问题？

　　答：公司还没有遇到这种情况，IP是双方共同研发的，属于共同产权。同时公司对韩国团队要求是在技术上努力做到最好，并能够实现差异化创新，拒绝抄袭走捷径。

　　问：公司战略上加快了国际客户的导入，是因为芯片法案对国内客户产生了影响，能详细介绍一下这几个海外客户吗？比如兆声波清洗设备的产线是否是先进产线？

　　答：在国外市场销售的都是先进产线。公司和国外客户的接触目的在于销售先进制程设备，要让公司的拥有差异化技术的设备在最先进制程产线上做贡献，还是需要拓宽国际路线。未来公司会加快国外客户的开拓。预计未来公司90%左右的设备都会进入全球市场。

　　问：请问美国的最新限制法案对公司高管以及核心技术人员，对公司后续生产的影响，以及目前在手订单情况，谢谢！

　　答：首先，公司技术主要在上海研发，也有一部分与全资子公司的韩国团队共同研发，因此技术不在美国最新公布的出口管制范围内。其次，公司研发团队方面百分之百全是中国人或韩国人。最后，零部件的采购也在不断拓展新的渠道。因此相对来说对公司影响较小。

　　在手订单请查看公司于2022年10月14号披露的在手订单公告;

　　盛美半导体设备(上海)股份有限公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售。主要产品为半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。2020年中国大陆半导体专用设备制造五强企业中，公司位列其中。

　　调研参与机构详情如下：

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