至纯科技（603690）2月9日发布投资者关系活动记录表，公司于2023年1月31日接受26家机构单位调研，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。

　　投资者关系活动主要内容介绍：

　　一、交流的主要问题及回复概要

　　问：请问公司炉管设备、涂胶显影设备的进展情况如何？

　　答：炉管设备、涂胶显影设备属于公司扩展的半导体设备品类，在2022年已有订单，这块业务的发展思路更聚集业务本身的市场化能力，和最早湿法切入策略一样先从6寸、8寸设备快速进入市场，12寸的验证周期比较长。炉管设备进展快，已经量产并交付8寸设备，2023年会在1~2个客户验证12寸设备。涂胶显影设备2023年主要目标是开始批量交付8寸设备。

　　问：公司预计非公开发行的进度如何？

　　答：公司预计在年报数据更新后向证监会申报本次非公开发行项目，并希望尽快拿到批文，拿到批文将尽快启动发行。

　　问：请问公司2023年制程设备、高纯系统两大业务板块的新签订单展望？

　　答：高纯业务板块方面，服务的下游行业较广，公司早期以服务光伏面板行业为主，目前下游客户主要是集成电路行业，2023年光伏行业将迎来投资高峰，相应的订单也会增加；公司在高纯业务方面确立了显著的行业地位和竞争优势，高纯板块2023年应该能保持稳定的新签订单规模增速。

　　设备业务方面，需要区分高阶设备、中低阶设备；高阶设备是特指服务于12寸的设备，中低阶设备主要包括6寸、8寸设备，中低阶设备下游比较分散，行业比较多，资本性开支计划波动不明显，但保持一定的增速且比较稳定，所以预计中低阶设备会有不错的订单增速。

　　高阶设备方面，下游集中在几个大厂，加之受到政策影响，主要取决于几个大厂的整体资本性开支计划。公司在高阶设备的规模基数并不大，从竞争格局来看，纯国产设备的优势在加大。公司对高阶设备业务有信心，未来增量多大要看下游的先进制程进展。

　　问：有机构预测未来2-3年国内半导体设备行业规模增幅不大，国内半导体设备公司的重要增长点是否在于国产化率提升？

　　答：一是国产替代因素，湿法设备领域国内供应商市场占有率从不到10%到目前25%左右，若要以国产为主，公司份额还有很大提升空间。二是下游扩产会带动设备需求。基于公司目前体量，公司在国内市场还有较大的成长空间。

　　问：公司设备端产品对下游主要客户的覆盖度？

　　答：现在绝大部分都是逻辑芯片客户，基本上覆盖了第一梯队、第二梯队的逻辑芯片客户。存储芯片客户占比相对还小，但已经看到上升趋势。总体来看，公司设备端产品覆盖客户较广。

　　问：请问公司在大宗气站这块业务相比竞争对手有什么竞争优势，未来是否有往特种气体扩展的机会？

　　答：大宗气站经历了几十年发展，包括服务于12寸工厂，服务于6寸、8寸工厂，也有服务于光伏项目等等。12寸市场的壁垒非常高，下游对可靠性的要求极为严苛，这块市场历来被国外三大公司垄断。公司交付了第一座12寸工厂大宗气站后，在业内产生的影响很大，而且交付后已经稳定运行一年。公司在这个领域的优势和进入契机是国产稳定自主可靠，成功切入后这个优势会被放大，未来新一轮资本性开支落地后，公司在新的大宗气站建设里有比较好的竞争力。

　　公司短期内不考虑特种气体业务，因为特种气体现在国内供应商较多，价格很不稳定，难以稳定盈利。若未来公司发现部分特种气体竞争格局或价格良好，再考虑是否添加个别产品。

　　问：公司产品零部件是否有非美成分？

　　答：公司的设备产品零部件没有从欧美进口的，涉及到进口的部分主要在日韩。

　　问：美国最近出台的制裁政策限制美籍工程师为国内半导体公司工作，对公司有何影响？

　　答：公司实控人、高管及各项业务的核心技术团队没有美籍员工，所以公司不受这项制裁政策的影响，后续这方面公司算是有竞争优势;

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司的主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。公司的主要产品为高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及光器件。公司于2019年3月完成对波汇科技的收购，波汇科技主要业务为光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。公司多项技术已达到国际先进水平。

　　调研参与机构详情如下：

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