京东方A取得蒸镀装置及蒸镀方法专利，提高了蒸镀效率，加快了产能
2024-03-31 07:24:44
来源：
金融界
2024年3月28日消息，据国家知识产权局公告，京东方科技集团股份有限公司取得一项名为“蒸镀装置及蒸镀方法“，授权公告号CN115216737B，申请日期为2022年7月。
专利摘要显示，本公开实施例提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，属于蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
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