中科飞测-U取得检测设备及其检测方法专利,能够增加检测设备的检测功能,且能够提高检测速度
2024年4月4日消息,据国家知识产权局公告,深圳中科飞测科技股份有限公司取得一项名为“检测设备及其检测方法“,授权公告号CN114688972B,申请日期为2021年2月。
专利摘要显示,本发明提供一种检测设备及检测方法,其中,所述检测设备包括:发光装置,用于产生照射待测物的入射光,所述入射光用于在所述图案标记表面形成图案光斑,所述待测物表面具有图案标记,所述图案光斑用于与所述图案标记形成莫尔条纹,所述图案光斑包括多个条纹光斑,所述多个条纹光斑的条纹延伸方向不同;成像装置,用于收集所述信号光并根据所述物镜收集的信号光形成检测图像。所述图案光斑包括多个条纹光斑,所述检测设备获取的图案标记的信息较多,进而能够增加检测设备的检测功能,且能够提高检测速度。
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