万业企业（600641）4月8日发布投资者关系活动记录表，公司于2024年3月31日接受106家机构调研，机构类型为QFII、保险公司、其他、基金公司、海外机构、证券公司、阳光私募机构。 投资者关系活动主要内容介绍：

　　问：活动主要内容介绍Q：目前公司的离子注入机交付速度怎么样

　　答：2023年，万业旗下的凯世通启用了浦东金桥（600639）基地与北京联东U谷基地，自此形成上海、北京“一南一北”两大研发制造基地战略布局，极大扩充了凯世通离子注入机产能容量，提升了凯世通对客户需求的响应能力。2024年一季度，凯世通每月向多家重复订单客户发货多台离子注入机设备，仅单季度搬入客户端即有8台离子注入机。同时，凯世通在2023年度新增多家12英寸晶圆厂新客户并获得重复订单，产品得到客户认可。

　　问：公司目前在离子注入机领域已稳居国内领军地位，展望未来，公司后续的发展规划是什么

　　答：我们将继续秉承正向设计理念，致力于技术研发和优化，旨在将我们的离子注入技术推向更高的国际水平。基于已有技术突破，有信心开发更多离子注入机型，满足国产芯片生产需要。同时将继续巩固拳头产品低能大束流与高能机的领先地位，持续提升设备性能，助力客户降本增效。在2024年度3月举办的SEMICONCHINA2024展会上，凯世通带来了面向CIS的大束流离子注入机。这款设备是基于凯世通已批量验证的iStellar通用注入平台与光路系统，设备成熟稳定，媲美进口先进机型，具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等特点。展望未来2-3年，公司正全力以赴，旨在实现全系列离子注入机的量产线应用，包括中束流、SiC离子注入、SOI氢离子注入以及超高能离子注入机等，以强化我们在本土半导体设备市场中的竞争力。

　　问：凯世通为什么把CIS作为此次发展的新方向？对于离子注入机来说，CIS领域有多大的市场空间

　　答：CIS（CMOS图像传感器）是现代数字成像技术中的关键组件，已成为图像传感领域的主流选择。近年来，得益于智能手机多摄像头趋势的兴起，以及汽车智能化、机器视觉、智能安防等新兴技术的快速发展，CIS市场呈现出显著的增长势头。根据Yole的数据分析，全 球CIS市场的规模预计将从2022年的213亿美元增长至2028年的290亿美元，年复合增长率达到5.1%。除了手机和安防这些相对传统的应用领域外，汽车和机器视觉等新兴市场对CIS的需求增长尤为引人注目。在汽车行业中，CIS已被广泛应用于车辆的前视、后视、环视以及舱内监控系统。同时，随着AI和5G技术的发展，机器视觉领域对CIS的像素精度和感光能力提出了更高的要求。 凯世通在今年一季度推出的CIS的大束流离子注入机，是公司在常规大束流离子注入机基础上发展而来的一款新产品，该产品于2023年四季度收到客户订单，并迅速在2024年3月搬入客户产线。低能大束流离子注入机在集成电路离子注入机市场品类中需求约为60%，是占比最大的类型，不仅被应用于逻辑制程，在存储、功率、CIS等芯片制造领域也被广泛使用。对于离子注入机而言，CIS离子注入机对金属污染控制与注入角度控制，相较于常规设备有着更为严格的要求。凯世通自主研发专业用于CIS器件的低能大束流离子注入机，是基于成熟的iStellar通用平台，设备产能高、稳定性好，同时具备卓越的金属污染控制、注入角度控制等差异化优势。此次CIS大束流离子注入机的推出表明，凯世通在离子注入机领域的技术已日趋成熟完善，开始向更大范围、更深层次的市场进行拓展，将进一步完善凯世通离子注入机产品矩阵，助力凯世通开拓CIS领域的市场业务，增强凯世通市场竞争力。

　　问：请问嘉芯半导体最近的发展情况如何，新基地建成投产后对公司有何影响!#作为国内半导体设备行业的新兴力量，嘉芯半导体当前主要布局成熟工艺，通过不断的研发投入，旨在夯实市场根基，逐步拓展市场影响力。 Q：请问公司在半导体设备零部件国产化率的改进上面有何进展

　　答：万业企业深耕半导体产业链多个关键环节，以旗下凯世通在集成电路离子注入机领域先进行重点布局，并进一步通过嘉芯半导体业务拓展至刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等核心半导体前道设备领域，坚定不移地推进“1+N”半导体设备平台化发展战略。 嘉芯半导体目前专注于成熟工艺的8英寸半导体设备，旗下拥有子公司嘉芯迦能、嘉芯闳扬和新产品研发部等，形成多个半导体前道 核心设备产品线。订单涵盖多种关键设备，包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备 （MetalSputter(Al/Ti/TiN)）、快速热处理（RTP）设备，以及双燃烧+双水洗尾气处理等多样化设备，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。 在产品矩阵中，公司自主研发的PHOEBUSPVD设备，是一款先进的全自动集群式物理气相沉积(PVD)系统，具备多沉积室配置，能够通过创造超高真空环境并精确控制各种过程变量，实现高精度的薄膜沉积。同时，公司致力于提供全面的流程控制和一站式的设备解决方案，产品线覆盖了CVD/PVD/刻蚀等主要工艺设备。 嘉芯半导体的设备制造基地坐落于浙江省嘉善，占地109亩，建筑面积达14万平方米，已于2023年11月竣工并投入使用。此外，嘉芯半导体的服务网络已经扩展至上海、天津、青岛、莆田、深圳等多个城市，公司在2023年前三季度的订单额超过1.3亿元人民币，自成立以来累计订单金额约4.7亿元人民币。作为国内半导体设备行业的新兴力量，嘉芯半导体当前主要布局成熟工艺，通过不断的研发投入，旨在夯实市场根基，逐步拓展市场影响力。 Q：请问公司在半导体设备零部件国产化率的改进上面有何进展？A：离子注入机作为半导体制造中不可或缺的前道核心设备，由数以万计的零部件构成，系统复杂度很高，涵盖了传动系统、高压电气系统、气体输送系统、真空系统等众多子系统。为更好满足客户期望并提升产品竞争力，同时也为了降低国际贸易壁垒风险对持续发展的影响，凯世通从2020年就开始着手离子注入机国产零部件的开发与验证工作，紧密结合国产半导体零部件发展情况，并根据下游客户需求，积极布局核心物料进口预防短期采购风险，到逐步拓展单一零部件国产化与自制，化解未来长周期采购风险，凯世通在零部件国产化方面 发挥了承上启下的枢纽作用，为凯世通战略采购带来了更好的成本可控优势，同时提升了整体设备的自主可控水平。!#离子注入机作为半导体制造中不可或缺的前道核心设备，由数以万计的零部件构成，系统复杂度很高，涵盖了传动系统、高压电气系统、气体输送系统、真空系统等众多子系统。为更好满足客户期望并提升产品竞争力，同时也为了降低国际贸易壁垒风险对持续发展的影响，凯世通从2020年就开始着手离子注入机国产零部件的开发与验证工作，紧密结合国产半导体零部件发展情况，并根据下游客户需求，积极布局核心物料进口预防短期采购风险，到逐步拓展单一零部件国产化与自制，化解未来长周期采购风险，凯世通在零部件国产化方面 发挥了承上启下的枢纽作用，为凯世通战略采购带来了更好的成本可控优势，同时提升了整体设备的自主可控水平。

　　问：2024年开年后从全球范围的半导体行业看复苏迹象明显，请问公司对24年晶圆厂扩张的节奏是怎么看待的，对公司发展有何影响

　　答：从SEMI近期公开的数据来看，在行业经历了2023年的收缩后，2024年全球半导体设备市场规模有望迎来复苏并增长至1053.1亿美元。SEMI提到，中国将引领半导体行业扩张，预计中国将增加其在全球半导体产能中的份额，并在2024年产能同比增加13%。公司目前也在积极推进与晶圆厂客户的接洽，争取相关订单落地。相关订单具体情况可关注公司公告信息。

　　问：请问万业企业的整体发展阶段及未来发展战略规划

　　答：万业企业的整体发展阶段可以概括为积极产业链拓展与深化半导体集成电路设备业务的关键时期。公司通过实施“外延式并购+产业整合”的策略，连续收购了凯世通、CompartSystems等关键企业，并创立了嘉芯半导体，从而建立了多样化的半导体前道核心设备产品线。这些设备产品不仅通过了国内多个晶圆厂客户的验证，而且已经转化为实际的商业订单。 根据《2023年年度业绩预告》披露，万业企业及其控股子公司在2023年度新增集成电路设备订单金额近3.7亿元人民币。单第四季度来自专用设备制造业务的营收约为2.40亿元，较去年同期实现了约120%的显著增长。自2020年起至今，公司在集成电路领域的订单总额已累积达到约17亿元。 作为国内稀缺的“1+N”半导体设备平台公司，万业企业将依靠其多元化的产品矩阵，以平台化的形式参与半导体行业的整合。未来，万业企业将进一步发挥产业横纵协同优势，通过外延式并购延伸和丰富扩充产业链布局，推动“1+N”平台化发展战略的深化，加速成为集成电路行业的领军企业;

　　调研参与机构详情如下：

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