突破14nm工艺检测壁垒!天准科技最新晶圆缺陷检测装备通过验证

2025-03-27 19:54:16 来源: 上海证券报·中国证券网

  上证报中国证券网讯(记者 仲茜)3月26日,天准科技旗下矽行半导体公司研发的“明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000”已正式通过专业验证,并首次亮相SEMICON 2025上海展会。公司表示,这标志着矽行半导体检测装备已具备14nm及以下先进制程的规模化量产检测能力。

  据介绍,最新检测装备 TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统,配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台,同时结合AI图像处理算法和Design CA,有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。TB2000的发布,使天准成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商,核心技术自主研发、设备自研可控。技术演进、产品迭代,也折射出天准科技从追赶国际龙头到并行的角色转变。

  此外,天准科技通过“自主研发+跨国并购+生态投资”三维战略,陆续推出晶圆微观缺陷检测、Overlay量测、CD量测、掩膜量测与检测等系列产品组合,打造了在半导体前道量测及检测领域的布局,构建覆盖晶圆制造、掩膜制造、封装测试全流程的智能检测解决方案。

  “天准科技以每年迭代一代产品的研发节奏,构建起覆盖芯片制造前道关键检测节点的技术护城河。”公司研发负责人表示,未来,天准科技将持续投入研发资源,持续深化平台化技术优势,加速推进14nm以下制程自主化、可控化进程,在高端装备领域实现跨越式发展。

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商务部部长王文涛会见德国汽车工业协会主席穆勒,双方就中德汽车产业合作、欧盟对华电动汽车反补贴案等议题进行交流。王文涛表示,中德汽车产业合作基础深厚,德国汽车企业是中国改革开放的见证者、参与者和受益者。中国对外开放的大门只会越开越大,利用外资的政策没有变也不会变,希望德国汽车企业把握机遇,坚定投资中国的信心。王文涛表示,当前国际形势复杂严峻,个别国家单边主义、保护主义做法严重破坏国际经贸秩序和全球产供链稳定,汽车行业首当其冲。中国和欧盟是捍卫多边主义和自由贸易的两大支柱,希望德国汽车工业协会继续发挥积极作用,推动德国和欧盟坚定维护多边贸易体制和全球产供链稳定,并同中方相向而行,在尊重国际经贸规则的基础上,早日妥善解决欧盟对华电动汽车反补贴案。穆勒表示,近日,德国汽车工业协会和多家会员企业参加上海车展,对中国汽车产业电动化、数字化发展印象深刻,进一步坚定了将中国作为最重要市场的看法。汽车产业应坚持全球化,通过开放与合作应对挑战,盲目加征关税无益于全球经济稳定。协会坚决反对贸易保护主义,期待欧中电动汽车案磋商尽快取得积极进展,妥善化解贸易摩擦,并鼓励德国车企扩大对华投资,欢迎中国车企赴德投资,共同推动汽车产业升级和技术创新。(商务部)
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