光刻机(886054)概念股延续活跃,张江高科(600895)触及涨停创新高,江丰电子(300666)涨超15%,联合化学(301209)、先锋精科(688605)、洪田股份(603800)、富创精密(688409)、芯碁微装(688630)跟涨。
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