昊华科技：公司电子特气产品包括电子级三氟化氮等

来源： 证券日报网
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　　证券日报网讯2月9日，昊华科技（600378）在互动平台回答投资者提问时表示，公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等，主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司电解制氟核心技术可延伸开发高纯氟气混配气体产品，相关产品处于研发阶段。

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