光刻机（886054）概念股盘初冲高，中润光学（688307）涨停创新高，腾景科技（688195）涨超10%，炬光科技（688167）、美迪凯（688079）、蓝特光学（688127）、中瓷电子（003031）、苏大维格（300331）跟涨。相关ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）(159558)涨1.07%，成交额2934.79万元，科创半导体ETF(588170)涨1.25%，成交额1.4亿元。

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