据同花顺（300033）iFind，中科飞测（688361）3月20日ETF资金当日净流入2175.94万元，3日累计净流入626.07万元，5日累计净流入1378.50万元，20日累计净流入8130.12万元，60日累计净流入16.13亿元。
近日ETF资金流向一览
| 统计周期（883436） | 净流入/流出（万元） |
|---|---|
| 当日 | 2175.94 |
| 3日累计 | 626.07 |
| 5日累计 | 1378.5 |
| 20日累计 | 8130.12 |
| 60日累计 | 161325.7 |
从重仓该股的ETF资金数据来看，持仓占比最高的ETF为科创半导体ETF（588170），持仓占比为8.27%，申购资金净流入131.91万元，持仓占比第二的ETF为科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）（588710），持仓占比为8.27%，申购资金净流出136.52万元。
从申购净流入资金排名数据来看，申购资金净流入最多的ETF为科创50ETF（588000），持仓占比为1.52%，申购资金净流入1181.94万元。申购资金净流出最多的ETF为科创芯片ETF嘉实（588200）（588200），持仓占比为1.73%，申购资金净流出387.55万元。
重仓中科飞测（688361）的ETF申购资金流向
| ETF代码 | ETF名称 | 持仓占比 | 申购资金净流入/流出（万元） |
|---|---|---|---|
| 588710 | 科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710） | 8.27% | -136.52 |
| 588170 | 科创半导体ETF（588170） | 8.27% | +131.91 |
| 589020 | 科创半导体设备ETF鹏华（589020） | 8.09% | -41.72 |
| 560780 | 半导体设备ETF广发（560780） | 4.38% | -32.01 |
| 159582 | 半导体ETF博时（159582） | 4.35% | 0.00 |
| 159558 | 半导体设备ETF易方达（159558） | 4.13% | -32.14 |
| 159327 | 半导体设备ETF万家（159327） | 3.99% | 0.00 |
| 159516 | 半导体设备ETF国泰（159516） | 3.86% | +538.21 |
| 562590 | 半导体设备ETF华夏（562590） | 3.84% | +174.35 |
| 561980 | 半导体设备（884229）ETF招商 | 3.76% | -39.38 |
