光刻机（886054）板块持续走强，中润光学（688307）、腾景科技（688195）、炬光科技（688167）盘中创历史新高（883911），中船特气（688146）、美迪凯（688079）涨超10%，蓝英装备（300293）、中瓷电子（003031）、蓝特光学（688127）、华特气体（688268）、江丰电子（300666）跟涨。相关ETF方面，半导体设备ETF易方达(159558)涨0.85%，成交额6280.64万元，半导体设备ETF广发(560780)涨0.56%，成交额5897.84万元。