新京报贝壳（BEKE）财经讯(记者胡萌)4月7日，贝壳（BEKE）财经记者了解到，2026年一季度科创板半导体材料（884091）设备ETF份额较年初接近翻番，区间净流入额近60亿元，截至目前3只上市产品总体规模已超百亿。

据了解，今年以来沪市陆续上市5只科创芯片设计主题ETF，共同推动资金加速汇聚国家自主创新产业赛道。这一趋势精准呼应“十五五”规划关于全链条推动集成电路等重点领域关键核心技术攻关、实现产业链自主可控的战略部署。市场资金加速流入科创板ETF产品，彰显“十五五”开局之年市场对国产替代加速发展的坚定信心，为加强原始创新和关键核心技术攻关注入长期活水，进一步提升资本市场助力新质生产力培育水平。