据证券时报，今年一季度，科创板半导体材料（884091）设备ETF份额较年初接近翻番，区间净流入额近60亿元，截至目前，3只上市产品总体规模已超百亿元。今年以来，沪市陆续上市5只科创芯片设计主题ETF，推动资金加速汇聚国家自主创新产业赛道。