IT之家4月27日消息，中微公司（688012）今日发布2026年一季度报告：

• 营业总收入：29.15亿元，同比增长34.13%

• 归母净利润：9.30亿元，同比增长197.20%

• 扣非净利润：4.78亿元，同比增长60.09%

• 经营现金流：-1.58亿元，同比下降142.12%

• 基本每股收益：1.48元/股，同比增长196.00%

• 稀释每股收益：1.47元/股，同比增长194.00%

• 加权平均净资产收益率：4.00%，同比增加2.43个百分点

中微公司（688012）2026年第一季度实现营业收入29.15亿元，同比增长34.13%，延续了过往14年营业收入年均增长大于35%的增长态势。归属于上市公司股东的净利润达到9.30亿元，较去年同期增长197.20%，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润约4.78亿元，同比增长60.09%。

公司本季度研发投入合计达到9.08亿元，同比增长32.15%，研发支出占营业收入比例约为31.14%，远高于科创板上市公司平均研发投入水平，持续推进六大类、超20款新设备的研发。在先进刻蚀工艺领域，高端产品新增付运量显著提升，下一代设备已进入客户验证阶段，已全面覆盖存储器刻蚀应用的各类超高深宽比需求。

薄膜设备业务保持快速增长，2025年薄膜设备营收同比大幅增长约224.23%，成为业绩增长重要新引擎。多款核心薄膜设备项目有序推进，部分产品已进入量产验证阶段。同时公司在SiC和GaN功率器件、Micro-LED（884095）等领域的MOCVD设备研发进展良好，四款新产品已进入客户端验证并获得部分批量订单。净利润大幅增长主要得益于营业收入增长带来毛利增加，以及本期出售部分拓荆科技（688072）股份产生税后净收益约3.97亿元。