上证报中国证券网讯(记者韩远飞)4月29日，中科仪正式在北交所上市。公司本次发行价格为16.21元/股，开盘价为61元/股。

资料显示，中科仪是国内领先的半导体（881121）制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司募集资金约8.25亿元，拟投资项目为干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备（884229）扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军；公司及其前身先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项。

干式真空泵领域，公司的干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电（TSM）(TSM)、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体（881121）外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体（881121）的制备，并已实现批量交付。

真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于2013年获得国家科技进步奖一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备(MBE)，在科研用MBE设备研制领域居于国内领先地位。