至纯科技半导体湿法设备先进工艺班组

荣获“全国工人先锋号”称号

2026年4月28日，全国五一劳动奖表彰大会在京召开。上海至纯洁净系统科技股份有限公司（简称“至纯科技（603690）”）半导体（881121）湿法设备先进工艺班组被正式授予 “全国工人先锋号” 荣誉称号。这是国家对至纯科技（603690）自主创新成果与产业贡献的高度肯定，是全体至纯人的集体荣光。

自2015年组建以来，我司半导体（881121）湿法设备先进工艺班组始终胸怀产业报国之志，积极践行公司 Lab To Fab 战略。面对国外技术封锁，班组迎难而上，围绕国家战略需求持续攻关，成功研制出性能比肩国际水平的湿法清洗设备，实现关键装备完全自主化，获得客户高度认可，以扎实、创新、有力的举措支撑了产业链自主可控。

班组核心成员拥有近20年半导体设备（884229）设计与制造经验，推动机台设计达到国际一流水准。所研发的18腔单片设备国内领先，12腔体单片及12寸bench产品达到国际先进水平，超薄片单片设备成功填补国内空白。8英寸Cassette-less批次式清洗装备获2019年上海市首台突破专项，并被收录于2021年市创新产品目录；2021年荣获“IC创新奖”成果产业化奖；12英寸单片清洗设备入选2022年市创新产品目录；适用先进节点的设备获2022年上海市科技进步奖三等奖；12英寸高温硫酸清洗设备获2024年度重点产品质量攻关二等奖。

班组实行开放式管理，定期召开全员会议，关键决策前广泛征求意见，增强主人翁意识。依托专家“传帮带”和“内部技术讲堂”，鼓励骨干分享经验；建立“项目复盘与知识库”制度，将攻关成果沉淀为共享资产。同时深化产研融合，选派人员参加培训与学术交流，与多所高校共建产学研项目，支持员工攻读硕博，持续培养精锐梯队。班组将继续聚焦核心竞争力，在未来的科研攻关中保持先锋姿态，为国家半导体（881121）装备自主化发展贡献力量。

展望未来

荣誉是里程碑，更是新征程的号角。至纯科技（603690）半导体（881121）湿法设备先进工艺班组将继续聚焦核心竞争力，在未来的科研攻关中保持先锋姿态，为国家半导体（881121）装备自主化发展贡献至纯力量！

特此报喜，并向全体奋斗者致敬！