证券日报网5月22日讯 ,英唐智控(300131)在接受调研者提问时表示,公司日本子公司英唐微技术拥有一条成熟的6英寸硅基晶圆生产线,当前月产能稳定在5,000片左右。针对MEMS微振镜产品,单片晶圆可刻蚀的微振镜数量依产品尺寸、工艺复杂度有所差异。若后续与光隆集成的整合工作顺利落地,有望进一步拓展现有产线在MEMS阵列芯片领域的制造能力,具体的产能分配情况将视实际情况综合考量。

证券日报网5月22日讯 ,英唐智控(300131)在接受调研者提问时表示,公司日本子公司英唐微技术拥有一条成熟的6英寸硅基晶圆生产线,当前月产能稳定在5,000片左右。针对MEMS微振镜产品,单片晶圆可刻蚀的微振镜数量依产品尺寸、工艺复杂度有所差异。若后续与光隆集成的整合工作顺利落地,有望进一步拓展现有产线在MEMS阵列芯片领域的制造能力,具体的产能分配情况将视实际情况综合考量。