证券日报网5月26日讯,恒运昌(688785)在接受调研者提问时表示,公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体(881121)工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节,以及真空镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。半导体(881121)行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律,等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备(884229)商及晶圆厂的双重验证,需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节,验证程序复杂、验证难度大、验证周期(883436)长。等离子体射频电源系统为半导体设备(884229)的核心零部件之一,与产品良率直接相关。等离子体射频电源系统要想达到高功率、高效率,其内部电路、结构和算法设计复杂,且下游客户在实际量产应用时,对于频率精度、响应时间、匹配精度、匹配时间有着更为严苛的要求,这需要等离子体射频电源系统供应商具有丰富的技术和经验积累,并配合客户长期、共同不断调试,且一旦产品确定后不会轻易更改。
