上证报中国证券网讯 5月26日晚间，至纯科技（603690）在上证e互动平台回答投资者关于“如何推进公司国产替代设备的发展”提问时表示，公司作为国内半导体（881121）湿法设备及高纯工艺系统的主要供应商，始终将国产替代作为核心战略，聚焦高阶湿法设备（如高温硫酸SPM、FIN ETCH等），通过持续研发投入，已实现28纳米节点全工艺覆盖，并在先进制程取得验证突破。
至纯科技（603690）还表示，公司通过订单牵引与合作开发，构建常态化供应体系，零部件国产化率显著提升，确保业务连续性与交付效率。公司围绕晶圆厂建设与运营周期（883436），为客户提供制程设备、高纯系统及电子材料，形成“工艺-设备-材料”三位一体能力。公司将继续聚焦集成电路主业，对实现订单目标和未来业绩持审慎但积极开拓的态度。
