8000孔/秒!8倍效率!华工科技核心子公司华工激光TGV玻璃通孔装备为玻璃基板量产提速

2026-05-30 09:12:08
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问财摘要

1、随着AI芯片、CPO光模块、射频MEMS等领域算力需求猛增,传统有机基板在信号损耗、平整度、热膨胀匹配等方面日益逼近物理极限,玻璃基板凭借其优异的高频特性、尺寸稳定性和高互连密度潜力,已成为产业共识性的下一代封装基材。 2、华工激光自研“光束快速偏转与同步定位技术”,通过优化偏转光学部件的驱动控制算法与同步触发时序,实现光束在加工台面上小范围偏转时的精准、快速定位,在保持孔道高品质、高一致性的同时,显著提升通孔效率。
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算力瓶颈:玻璃基板成为先进封装“芯”路

随着AI芯片、CPO光模块、射频MEMS等领域算力需求猛增,对高频高速互连的要求持续升级,传统有机基板在信号损耗、平整度、热膨胀匹配等方面日益逼近物理极限,玻璃基板凭借其优异的高频特性、尺寸稳定性和高互连密度潜力,已成为产业共识性的下一代封装基材。

当前,全球半导体(881121)先进封装(886009)正加速向玻璃基板演进,英特尔(INTC)、三星、台积电(TSM)等头部企业纷纷加码玻璃基板技术布局,将其视为后摩尔时代提升芯片性能的关键路径。

|玻璃基板通孔技术

Through Glass Via

玻璃通孔(TGV)技术是玻璃基板走向产业化的核心环节,该技术要求在超薄玻璃上实现批量的垂直互连孔道,以便后续工序完成信号连通。华工激光依托在PCB钻孔、脆性材料精密加工领域十余年的技术积淀(国家级制造业单项冠军产品),率先实现5μm孔径、1:100径深比、99.9%通孔率的高质量TGV钻孔,并正从“能打孔”向“快速量产”稳步迈进。

效率革命:单秒最大通孔量≈8000个

TGV量产的最大瓶颈,是在保证微米级精度、高深宽比、零缺陷加工质量的前提下,大幅提升单位时间的通孔数量。

华工激光自研“光束快速偏转与同步定位技术”,通过优化偏转光学部件的驱动控制算法与同步触发时序,实现光束在加工台面上小范围偏转时的精准、快速定位,在保持孔道高品质、高一致性的同时,显著提升通孔效率。

TGV玻璃基板钻孔智能装备

华工激光TGV玻璃基板钻孔智能装备较行业平均水平实现5–8倍的效率跃升,加工效率提升至5000–8000孔/秒,单秒最大通孔量接近八千个,为TGV玻璃基板的规模化生产扫除了关键效率障碍。

量产落地:为规模化生产筑牢装备支撑

随着玻璃基板在半导体(881121)先进封装(886009)领域从小批量验证走向规模化应用,TGV钻孔的效率与良率已成为决定产业落地的关键门槛。

目前,华工激光TGV玻璃通孔激光加工智能装备已完成整机定型,核心部件(激光器、振镜、控制系统)实现100%国产化,并已成功完成初步中试验证。该装备可稳定满足AI芯片2.5D/3D封装、CPO光引擎玻璃基板、射频/MEMS高端基板等先进封装(886009)场景的产能需求,真正将TGV核心技术转化为可交付、可复制的产业化能力。

华工激光将持续推动TGV核心装备的技术迭代与产业化进程,致力于为行业提供更高精度、更高效率、更高良率的国产化量产解决方案,助力先进封装(886009)产业链加速迈入玻璃基板时代。

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