光刻机(886054)板块走高,美迪凯(688079)涨停,江丰电子(300666)、中船特气(688146)、芯碁微装(688630)、思泰克(301568)、华辰装备(300809)跟涨。相关ETF方面,半导体设备ETF易方达(159558)涨0.86%,成交额1.16亿元,半导体设备ETF广发(560780)涨0.75%,成交额1.79亿元。
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