工业检测中,高端精密测量仪器对精密三维尺寸、微观形貌、多层材质厚度的测量是把控产品良率、突破工艺瓶颈的关键。传统斜轴方案受限于阴影、盲区及材质,在深孔、高反光、透明材料等场景中频频失效。而高端同轴光谱传感器(885946)长期面临海外品牌垄断,国产产品难以真正落地企业产线,制约了国内高端制造产业的提质增效与自主化发展进程。
线光谱共焦传感器成像原理
针对行业关键痛点,精测电子(300567)依托“光机电算软”一体化技术平台,精准布局光谱共焦技术领域,以科技部"智能传感器(885946)"重点专项为技术支点,成功研发多款线光谱仪器产品。
子公司精一微全新推出LSCC同轴系列3D光谱共焦线扫传感器(885946),基于自研同轴光谱共焦光学架构,融合精密色散、高速光谱解码与同轴光路设计,为IC(集成电路)、晶圆、TGV玻璃通孔、透明材料、精密制造提供无阴影、无盲区、全材质、亚微米级的高速3D在线测量解决方案,打破测量死角,实现高端同轴线光谱传感器(885946)的国产自主可控与性能超越。
01
同轴光路
真正实现无阴影、零盲区
采用严格同轴光学设计,发射光与接收光沿同一光轴传播,彻底消除传统斜轴方案的阴影遮挡、边缘盲区、视角限制,无论是TGV高深径比微孔,还是复杂的金线矩阵、缝隙、台阶,LSCC均可实现俯视一次扫描全覆盖,数据完整率高达99.5%,确保每一个微观缺陷都精准捕获。
02
光谱共焦
全材质兼容,不受反光干扰
LSCC系列依托光谱色散共焦原理,以白光宽光谱为光源,测量结果基于波长解码,完全不受反射光强、材质颜色、表面粗糙度影响,各类材质均可实现稳定精准测量,同时兼容±45°复杂曲面及大倾角测量场景。
全材质适配
03
超高精度
亚微米级洞察,适配精密场景
LSCC系列可实现50nm的Z轴重复精度和1.23μm的X向分辨率,最高支持3648点/线,全程保持亚微米级精度,无边缘精度衰减,清晰捕捉微米级缺陷,适配半导体(881121)晶圆、TGV玻璃通孔、BGA 锡球、Micro-LED(884095)、精密齿轮、手机中框/盖板等高精密场景,满足纳米级形貌与层厚检测。
04
极致扫描
高效适配量产产线节拍
LSCC系列最高支持10000线/秒极速扫描,常规稳定扫描速率达4000线/秒,单线条最高采集3648个测量点位。
同时,具备大视野大量程优势,单次扫描覆盖更大区域,以更少扫描次数实现更高效率的大面积大尺寸工件快速检测,一次扫描即可输出3D形貌数据、2D 强度图像等多维度数据,兼顾速度、密度、精度,轻松适配大批量、高节拍的在线检测产线,显著提升检测效率与良率。
此外,除了最新推出的LSCC同轴系列3D光谱共焦线扫传感器(885946),精一微同步布局完善光谱共焦传感器(885946)产品矩阵,面向面板、3C、半导体(881121)、新能源(850101)等全场景,已自主研发LSCF 3D光谱共焦传感器(885946)系列产品,采用离轴线光谱,适配3D亚微米级扫描,提供宽量程、多型号选择,双系列互补搭配,充分满足不同行业场景、不同工艺、不同客户的多元化定制需求。
作为国内精密量检测领域领军企业,精测电子(300567)深耕光学设计、精密机械、智能算法、自动化集成全产业链核心技术,打造以光谱仪、亮色度计、色彩分析仪、3D光学传感器(885946)为核心的精密光学仪器产品矩阵,覆盖点阵与面阵,构建起从精密检测仪器、智能检测设备到行业解决方案的智能检测生态体系,可提供贯通实验室研发到高端制造量产产线的全领域、全应用、全场景量检测服务。
超越检测,实现主动良率管理。未来精测电子(300567)将持续深耕精密量检测技术领域,迭代并完善精密光学仪器系列产品矩阵,以更优质的国产精密测量设备、更专业的一站式检测解决方案,助力企业攻克检测难题,以国产力量赋能中国智造,助力产业自主升级。
