光刻机(886054)板块拉升,炬光科技(688167)20cm涨停,中船特气(688146)涨超10%,先锋精科(688605)、富创精密(688409)、美埃科技(688376)、凯美特气(002549)、华特气体(688268)跟涨。相关ETF方面,科创半导体ETF华夏(588170)涨3.36%,成交额1.83亿元,半导体设备ETF广发(560780)涨2.95%,成交额5569.44万元。
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