汇成真空：公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术

证券日报网讯6月17日，汇成真空（301392）在互动平台回答投资者提问时表示，公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术，以及射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合，自动升降传输基材，支持多个阴极同时溅射，镀制多层膜，自动处理工艺并记录数据，有关经营情况可关注公司定期报告。