恒运昌：等离子体射频电源系统的应用较为广泛

证券日报网6月24日讯，恒运昌（688785）在接受调研者提问时表示，等离子体射频电源系统的应用较为广泛，除了半导体（881121）、光伏和显示面板等主要的应用领域，还包括精密光学领域、科研领域、航天领域、医疗等其他领域。公司的等离子体射频电源系统主要被广泛应用于半导体（881121）工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。