引言/Introduction
在5G（885556）通信、新能源（850101）与光电子产业高速发展的当下，激光泵浦源、光通信器件等核心光电器件的性能与可靠性，已成为产业链关注的焦点。而作为激光芯片核心组件的COS（Chip on Submount）器件，其端面的洁净度与外观缺陷，直接影响芯片的发光效率、散热性能与使用寿命。传统人工检测与清洗方式，不仅效率低下、一致性差，更难以满足高功率器件量产对微米级洁净度的严苛要求，成为制约光电器件品质升级的关键工艺瓶颈。
联赢激光（688518）依托在精密激光与自动化领域二十余年的技术积淀，通过旗下专注半导体（881121）装备的子公司——江苏联赢半导体（881121）技术有限公司，推出自主研发的COS检测清洁机，为COS器件提供检测与清洗一体化解决方案，助力半导体（881121）光电子产业突破封装工艺瓶颈。
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UW COS检测清洁机
UW COS检测清洁机是专为COS激光芯片产品打造的检测与清洁一体化高端设备，集成了机器视觉（886002）检测技术与环保型二氧化碳雪花清洗技术，可对芯片的N面、P面及AR（增透膜）、HR（高反膜）端面进行全面检测，同时可对AR面进行脏污进行精密清洁(黑点，浮动脏污，油脂可清洁比例40%)。
设备以标准Mark点为定位基准，贴装精度控制在XY≤±10μm（标准片）以内，检测精度控制在±2μm，检出准确率≥99.5%，清洗有效率在70%（实际根据来料），确保检测与清洗作业的高可靠性。在效率方面，纯检测模式下设备综合产能（UPH）可达500PCS/H以上，单颗芯片清洗时间（CT）不超过5秒；包含全检与清洁的全流程作业中，UPH同样稳定在300PCS/H以上。设备上料方式采用华夫盒堆叠式设计，可兼容4寸及2寸规格华夫盒，通过适配器即可实现换型，单台换型时间控制在1小时以内，有效提升产线灵活性与生产效率。
设备优势特点
高精度定位与检测
采用机器视觉（886002）检测系统，并以标准Mark为基准进行高精度定位，贴装精度可达 XY≤±10μm（标准片），确保检测与清洗作业的准确性，检出准确率≥99.5%。
高效环保的清洗工艺
选用自研环保型二氧化碳雪花清洗方式，在保证清洗质量的同时更加安全环保。设备清洗效率高，纯清洗模式下 UPH≥500PCS/H，单颗清洗时间 CT≤5S，显著提升生产节拍。
高集成度与全流程效率
集检测与清洗功能于一体，实现“检测-清洗”一站式作业。全流程（含全部检验与清洁）综合产能 UPH≥300PCS/H，有效减少工序流转，提升整体生产效率。
优异的兼容性与灵活性
上料结构以4寸华夫盒为基础设计，通过适配器即可兼容2寸华夫盒，满足不同规格产品的生产需求。设备换型便捷，换型时间≤1小时/台，大幅缩短产线切换等待时间。
自动化堆叠上料
支持华夫盒堆叠上料方式，提升单次上料的可作业数量，减少人工干预频率，为实现自动化连续生产提供有力支持。
COS器件作为激光芯片的核心组件，其检测与清洗环节直接决定了最终产品的发光效率与使用寿命。UW COS检测清洁机凭借微米级定位精度、环保高效的清洗工艺以及高自动化的操作流程，有效解决了传统工艺效率低、一致性差的痛点，为高功率激光器件的大规模量产提供了可靠的工艺保障。
江苏联赢半导体（881121）技术有限公司作为联赢激光（688518）在半导体（881121）领域的重要布局，已构建起覆盖贴片、检测、激光微加工、精密焊接的完整设备矩阵，产品广泛应用于IGBT、通讯、微波、激光泵浦源等多个领域。未来，联赢半导体（881121）将持续深耕半导体（881121）精密制造赛道，以更优质的装备与服务，助力国产半导体（881121）产业稳步前行。
