芯源微：臭氧水方案在经济性和环保性方面具有一定优势

证券日报网讯7月9日，芯源微（688037）在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧水方案在经济性和环保性方面具有一定优势，但清洗方案的选择需要根据具体应用场景、工艺节点、客户需求等方面综合确定。