在半导体(881121)产业向先进封装(886009)加速迈进的浪潮中,晶圆划片机作为后道工艺的核心装备,其精度、效率与兼容性直接决定着芯片的“最后一公里”品质。光力科技(300480)自主研发的ADT8231全自动双轴十二寸划片机,以“高精度、高柔性、高智能”的技术突破,为全球半导体(881121)产业链注入强劲动能,成为中国高端装备(885427)“补短板、锻长板”的生动缩影。
针对超薄晶圆及低k介质材料对切割应力敏感的特性,DBG(先切割后研磨)工艺以“先半切、再研磨”的逆向流程,使应力在减薄中自然释放,有效降低破片风险。8231支持基于FOUP的DBG半切,全程在密封洁净环境中自动完成,并依托OMS技术精确控制半切深度,为超薄芯片量产提供可靠保障——这一工艺能力,使8231在存储芯片(886042)、功率器件、CIS图像传感器(885946)等超薄封装领域具备了显著的应用优势。
一、双模式兼容:灵活适配产业多元需求
8231源于久经市场验证的8230平台,继承了其高效率、高精度、高可靠性的家族基因。
半导体(881121)制造场景中,FOUP(晶圆运输盒)与Cassette(晶圆承载盒)是两类主流载具:FOUP作为12英寸全自动产线的专用密封无尘转运盒,可与天车及Load Port精准对接,在全自动流转中为晶圆提供全程洁净保护与RFID追溯;相比之下,Cassette更多服务于200mm及以下晶圆的传统产线,常见于手工或半自动操作场景。ADT8231创新支持FOUP与Cassette上下料自由切换,切换过程便捷高效——既满足头部晶圆厂“规模化量产”的自动化需求,又为科研机构、特色工艺厂商提供“柔性生产”的解决方案,让一台设备兼容产业生态的多样性。
一台设备 两种生态
更令人瞩目的是,8231将切割能力拓(RIO)展至300×300mm的方形Panel(面板),这一尺寸规格的覆盖,使设备在应对大尺寸基板(PLP封装-Panel Level Package)——尤其是玻璃基板(886111)等硬脆材料的切割时,具备了充分的工艺适应性。
二、智慧之眼:OMS技术,让“翘曲”无处遁形
晶圆翘曲,一直是先进制程中良率的隐形杀手。传统的测量方式往往滞后且不够全面。
8231搭载了ADT独有的OMS(光学测量系统)技术。这相当于为设备装上了一双“智慧之眼”。它不仅能对厚度和翘曲进行更精准的实时测量,更支持多刀、逐行整面乃至自定义的多种翘曲扫描模式。
这意味设备能在切割前、切割中乃至切割后,对刀痕深度与形貌进行在线扫描,其性能指标可对标专业级3D显微镜。从“凭经验”到“看数据”,8231将过程控制推向了前所未有的精准维度。
三、硬核内芯:精度写在数据里
高端装备(885427)的较量,最终要回归到核心部件的硬实力。
8231搭载了最高转速达60,000rpm的大功率空气主轴,标配1.8KW,并可选配2.2KW,为切割硬脆材料提供了充沛的“心脏动力”。配合全闭环控制系统与超精密滚珠丝杠,其Y1/Y2轴在310mm全行程内的累计精度≤2μm。
在智能化产线构建上,8231同样考虑周全:支持SECS/GEM200/300国际标准通信协议,并可选配OHT(空中走行式无人搬送车)自动上料,为打造“黑灯工厂”(DarkFactory)铺平了道路。
结语:以精工 见重器
从12英寸晶圆到300mm面板,从传统切割到DBG(先切割后研磨)工艺,8231的每一处设计都直击产业升级的痛点。
在半导体(881121)装备国产化的征途上,光力科技(300480)走出了一条独特的进阶之路——从引进海外先进技术落地生根,再以此为基础自主迭代与创新。ADT 8231,正是这一战略路径下结出的扎实成果。
