东吴证券(601555)发布研报称,沿“激光—光刻—电镀”三条工艺主线,关注玻璃基板(886111)产业化中的国产设备与材料机会。(1)激光钻孔/改性设备:TGV成孔是玻璃基板(886111)的关键工艺;(2)光刻/直写设备:RDL高密度布线与感光玻璃光刻环节;(3)电镀设备与电镀化学品:TGV铜填充与RDL电镀是价值量核心环节。
东吴证券(601555)主要观点如下:
AI算力需求高增推高带宽需求,玻璃基板(886111)有望开启先进封装(886009)的“材料革命”,产业链设备与材料环节率先受益
后摩尔时代芯片制程红利趋缓,先进封装(886009)成为提升系统性能的关键路径;根据Yole数据,2024年全球先进封装(886009)市场约460亿美元、同比+19%,2030年有望达794亿美元、CAGR约9.5%。随着算力芯片与HBM高带宽存储协同要求不断提高,硅基与有机中介层/载板在大尺寸、翘曲控制、高频损耗等方面逐渐触及瓶颈,玻璃凭借机械尺寸稳定、CTE可调、介电损耗低、表面平整、且可面板级大尺寸加工等本征特性,成为破局材料。当前时点产业共识正在形成:英特尔(INTC)于2026年第76届ECTC发布玻璃芯基板量产技术突破,台积电(TSM)推进面板级CoPoS,康宁(GLW)推出Glass Bridge玻璃桥CPO方案,京东(JD)方在5月20日公告与康宁(GLW)合作、玻璃基封装载板试验线已通线并送客户认证,沃格光电(603773)、蓝思科技(HK6613)等亦密集布局,海内外龙头共同验证玻璃基板(886111)的产业化方向。
玻璃基板落地三大方案,层层递进打开设备与材料空间
1)面板级封装(CoPoS)方案:玻璃作为方形临时载具,承载CoWoS-L式RDL重布线,在玻璃上打TGV玻璃通孔、金属化后制备RDL,以TGV垂直互连;该方案相比圆晶圆更具经济性、支持面板级大尺寸,CTE可调以改善翘曲,并可掏槽内嵌元件(881270)、演化出5.5D封装。2)玻璃芯封装载板方案:以玻璃替代传统覆铜板有机核心层,机械刚性与介质损耗Df优于有机材料,更好满足高频高速传输。3)CPO玻璃桥方案(康宁(GLW)):在玻璃内部制作光波导,直接连接PIC与光纤、取代FAU,显著降低耦合对位难度,并可与玻璃基板(886111)工艺相结合。三条主线的共同点是把价值量集中导向TGV打孔、金属化电镀、RDL布线等前道图形化与镀铜环节。
核心增量在加工设备与材料
TGV打孔(激光/刻蚀)、金属化与电镀、RDL光刻是玻璃基板(886111)产业化的三大关键工艺环节。TGV成孔以激光钻孔(紫外超快激光优于CO)、激光诱导改性+湿法刻蚀、感光玻璃光刻为主流路线;金属化以磁控溅射种子层配合化学镀/电镀实现全铜填充;RDL沿用硅基的电镀法与大马士革法,对直写光刻、垂直电镀与电镀化学药水提出更高要求。当前瓶颈集中在高深宽比成孔、电镀无空隙填充与玻璃开裂控制,正是国产设备与材料企业切入的窗口期。
风险提示:下游巨头玻璃基板(886111)导入进度不及预期;关键工艺良率突破不及预期;先进封装(886009)及AI算力需求不及预期。
