半导体（881121）制造是5G（885556）、新能源汽车（885431）、人工智能（885728）等战略性产业的核心基础，工艺精密、管控严苛，对工艺介质纯度、晶圆品质、环保排放有着极高要求。雪迪龙（002658）半导体（881121）行业智慧监测解决方案搭建高精度、智能化监测体系，解决高纯介质杂质管控严、晶圆微观缺陷难排查、生产排污监管难等问题。
超高纯大宗气体痕量杂质检测
电子级超高纯大宗气体是芯片制程关键介质，傲领Orthopure系列色谱仪覆盖超高纯气体杂质检测需求，采用HDID、FID检测器精准检测H 、N 、Ar、CO、CO 、CH 、NMHC等ppb级痕量杂质气体，把控超高纯气体纯度。
用于连续品质控制（CQC）的杂质测量
傲领Orthopure系列色谱仪
半导体掺杂与缺陷分析
芯片刻蚀工艺使用Cl 、HBr、He、O 等工艺气体，易造成晶圆表面杂质残留和微观缺陷等问题。飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）作为半导体（881121）掺杂和缺陷分析的有效技术手段，可为半导体（881121）工艺优化提供科学的数据支撑。
半导体硅晶圆缺陷分析
飞行时间二次离子质谱仪
大气污染物排放监测
芯片光刻、刻蚀、 薄膜沉积、清洗等工艺会产生酸性、碱性、有机类废气污染物。雪迪龙（002658）智能烟气在线监测系统，可对酸性废气排口、碱性废气排口、有机废气排口和废气焚烧排口实现废气排放精细化管控。
酸性气体监测-NOx、HF、HCl
紫外法CEMS
傅里叶红外法CEMS
原位激光气体分析仪
碱性气体监测-NH
原位高温气体在线监测系统
有机气体监测-挥发性有机物（NMHC)、苯系物
挥发性有机物在线监测系统
颗粒物监测
抽取式激光前散射粉尘仪
原位式激光后散射粉尘仪
水污染物排放监测
雪迪龙（002658）水质在线监测系统可实现废水排放主动管控，依据《排污单位自行监测技术指南 电子工业》（HJ 1253-2022）要求，废水总排口需自动监测流量、pH值、化学需氧量、氨氮核心指标；半导体（881121）液晶面板制造（有表面涂装工序的）重点排污单位，增设总磷自动监测。
废水排放监测-pH值、CODCr、氨氮、总磷、总氮、重金属等
污染源水质在线监测系统
雪迪龙（002658）半导体（881121）行业智慧监测解决方案，兼顾生产品质和环保合规双重保障，适配半导体（881121）晶圆制造、芯片封测、液晶面板生产等各类电子制造企业的智能化监测需求。
