有投资者向路维光电（688401）(688401.SH)提问，请问公司PSM相移掩膜版(Phase Shift Mask)，是光刻工艺中的关键材料，公司是否己2突破的单层衰减型PSM和Mosi系双层PSM制造技术，可应用于G6及以下平板显示掩膜版以及半导体（881121）掩膜版？实现实现G6、G8.5TFT-Array用单层衰减型PSM客户导入及量产？实现i-line半导体（881121）PSM客户导入？烦请科普并正面回复下，多互动交流，谢谢
8月13日，公司在互动平台回答表示，在相移掩膜版PSM领域，公司于2021年完成衰减型相移掩膜版(ATT PSM)工艺技术研发并通过内部测试，2023年量产Metal Mesh用PSM掩膜版，CF用PSM产品于2024年通过客户验证并量产，2024年完成单层衰减型PSM掩膜版制造技术及Mosi系双层PSM掩膜版制造技术研发；2025年实现G6、G8.5TFT-Array用单层衰减型PSM客户导入及量产，实现i-line的半导体（881121）PSM客户导入。
