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CSEAC 2026
半导体设备材料及核心部件展
8月31日,第十四届半导体设备(884229)材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心盛大开幕!
作为中国半导体设备(884229)与核心部件领域极具影响力的年度产业盛会,本届展会集结1400余家全产业链企业,集中展示晶圆制造、先进封装(886009)、核心部件等领域的前沿技术与创新成果。
半导体核心工艺精准护航
从前道晶圆来料外观筛查到后道封装3D形貌量测,埃科光电(688610)深度锚定半导体(881121)制造精密检测需求,携高分辨率成像、超高速采集与亚微米级检测传感方案重磅亮相A3馆169展位,为产线提质增效、工艺进阶提供坚实的硬件支撑,驱动半导体(881121)制造产能与品质双升级。
CSEAC 2026
前道 晶圆制造
8K紫外高阶TDI线阵相机
晶圆外观检测
该产品搭载紫外波段高灵敏度BSI背照式传感器(885946),最高行频1000kHz完美适配高速产线节拍,兼顾检测精度与检测效率,为半导体(881121)前道暗场检测环境下的晶圆外观检提供了更高效精准的支持。
1.05亿像素高速面阵相机
晶圆飞拍检测
该产品搭载全局快门传感器(885946)实现无形变高速动态拍摄,采用100Gbps高通(QCOM)量传输架构,显著提升单工位检测效率,可有效识别晶圆复杂背景下的微小图形缺陷,适用于掩模版检测、套刻对准检测等。
CSEAC 2026
后道 封装测试
智能对焦系统
TGV/TSV检测
埃科智能对焦系统可快速应对因晶圆翘曲、表面纹理复杂、定位偏差导致的高度变化,实现实时、精准、高速的自动跟焦,广泛应用于前道晶圆外观检测、后道封装TGV/TSV检测等场景。
线光谱共焦传感器
金线/BGA锡球检测
埃科SG系列线光谱共焦传感器(885946)的同轴光学设计可实现零阴影非接触3D在线检测,精准还原深孔、缝隙、曲面等复杂形貌;可适用于前道晶圆外观检测,后道封装中Bump检测、引线键合检测、BGA球高及缺陷检测。
短波红外面阵相机
混合键合/TSV检测
埃科短波红外面阵相机感光波段覆盖400-1700nm,内置独家暗电流补偿算法,可穿透硅材料识别内部隐裂、对准标记等隐蔽特征,适配混合键合跨层对准、TSV填充质量复检、键合界面缺陷复核等精密检测场景。
