上证报中国证券网讯(记者李兴彩)10月12日，第二十六届中国国际工业博览会(简称“工博会”)在国家会展中心(上海)正式启幕。本届工博会首次设立集成电路展(国芯展)，以“芯链工业，强芯筑基”为主题。盛剑科技（603324）在会上正式发布六大新产品，并荣获2026“国芯展”创新成果奖。
随着先进制程的不断演进、特色工艺的不断创新，半导体（881121）产业对高端装备（885427）及专业服务（884257）的需求日新月异、与日俱增。盛剑科技（603324）持续围绕半导体（881121）生产主设备着力打造附属装备和零部件平台化解决方案，本次正式发布的六大布局产品线，以“六方神兽”命名，延续东方意蕴与科技创新相结合的品牌表达。
盛剑科技（603324）副总经理张鹏介绍，凤凰.工艺废气处理设备(Local Scrubber)适用等离子加水洗或电加热加水洗多种工艺路线，针对不同制程副产物高效净化废气，向净而生。大鹏.干式真空泵采用多级罗茨与多级爪式结构，具备低能耗、小型化，可快速建立稳定真空环境。重明.温控设备(Chiller)采用双变频多通道设计，低能耗、宽温域特点有力守护工艺热稳态。
青鸾.集成式真空与废气处理系统(SJPS一体机)将真空泵与废气处理集成于统一机柜，可节省30%以上洁净室占地，实现端到端一体化管控。金乌.磁悬浮涡轮分子泵采用主动磁悬浮轴承、无接触高速旋转设计，具有大抽速、高压缩比，洁净无油等优势，可适配苛刻制程。羽嘉.低温泵可通过低温冷凝吸附获取超高真空，长维护周期（883436）配合自研PLC自动再生，适配严苛高真空工艺。
“以东方神鸟命名六大产品线，是致敬中国智造，也诠释了公司攻坚克难的‘芯’路历程。”盛剑科技（603324）董事长张伟明在发布会致辞中表示，盛剑将持续把研发投入投向真空、温控、工艺废气处理与电子材料的最前沿，让“中国装备”更可靠，让“中国材料”更稳定，让每一座中国芯片工厂的绿色生产线上，都有盛剑的一份力量。
张伟明表示，盛剑科技（603324）扎根上海二十一年，始终沿着“行业延伸+产品延伸”的道路，从工艺废气治理起步，逐步构建起绿色厂务系统、半导体（881121）附属装备与核心零部件、电子化学品（881172）材料协同发展的业务格局。
