近日，2026 湾区半导体（881121）产业生态博览会（湾芯展）在深圳举行，展会汇集了 1000 余家半导体（881121）企业，展示了半导体（881121）全产业链生态。江苏微导纳米（688147）科技股份有限公司（简称：微导纳米（688147），股票代码：688147.SH）携全系产品亮相展会，并在大会上重磅发布了 iMagtron系列磁控溅射系统两款PVD新产品，以及 iTomic MeT 系列原子层沉积系统 Ru 工艺。
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新产品、新工艺重磅首发
在湾芯展开幕式暨半导体（881121）产业发展峰会上，微导纳米（688147）重磅发布iMagtron SC系列高离化磁控溅射系统、iMagtron BK系列直流磁控溅射系统，以及iTomic MeT 系列原子层沉积系统 Ru 工艺。本次发布，是公司在薄膜沉积设备领域第三条技术主线的正式亮相，标志着微导纳米（688147）薄膜沉积平台化战略正式成型。
微导在展台向到场嘉宾与现场观众详细介绍了本次发布的新产品及新工艺，并重点讲解了微导PVD产品的核心特点、关键工艺指标，以及新设备在逻辑芯片、存储NAND芯片、存储DRAM芯片领域的应用；同时剖析了后摩尔时代Ru金属材料的机遇与技术瓶颈，深度解读微导纳米（688147）新一代ALD Ru 工艺的技术优势，受到在场嘉宾的广泛认可。
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斩获行业奖项，自主创新能力获认可
本次展会期间，微导纳米（688147）凭借在薄膜沉积装备领域长期持续的技术攻关、产品迭代与规模化产业化落地成果，荣膺“技术创新企业 装备技术企业”奖项。该奖项是业界对企业持续深耕半导体（881121）薄膜沉积装备赛道、坚持自主创新的高度肯定。
多年来，微导纳米（688147）聚焦薄膜沉积核心装备研发，持续突破关键技术瓶颈，面向逻辑、存储、先进封装（886009）等应用场景，打造国产替代的成套薄膜沉积解决方案。本次获奖，彰显了公司在半导体（881121）装备国产化进程中的产业价值，也为公司持续拓展国产装备产线验证、推进批量导入量产奠定了品牌基础、积累了产业口碑。
依托持续技术创新，微导纳米（688147）将积极推进 ALD、CVD、PVD 三大薄膜沉积技术路线的协同迭代，持续深化薄膜沉积装备平台化战略。未来，公司将面向半导体（881121）产业真实应用需求，不断攻克先进工艺节点的技术瓶颈，加速国产装备产业化落地，携手产业链生态伙伴，共同推动国内半导体（881121）产业创新发展。
