中微公司（688012）11月2日发布投资者关系活动记录表，公司于2026年10月31日接受257家机构调研。
投资者关系活动主要内容介绍：
公司近况介绍:中微公司（688012）2026年前三季度营业收入为103.26亿元,同比增长约28.08%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升,在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。2026年前三季度归属于上市公司股东的净利润为41.34亿元,较上年同期增长约29.23亿元,同比增长约241.31%。2026年前三季度营业收入增长28.08%下,毛利较上年同期增长约10.21亿元;前三季度公司研发支出较上年同期增长6.99亿元,增长约27.70%,研发支出占公司营业收入比例约为31.20%,远高于科创板均值。经评估师评估,公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026年前三季度产生公允价值变动收益和投资收益合计约19.40亿元,较上年同期的3.49亿元增加约15.91亿元。公司本期出售了部分持有的拓荆科技（688072）股份有限公司股票,产生投资收益约9.53亿元。2026年前三季度归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约16.23亿元,较上年同期增加7.36亿元,增长约83.01%,主要由于营业收入增长下毛利增加10.21亿元,以及研发费用较上年同期增加2.35亿元。中微公司（688012）开发高端先进设备一贯坚持“技术的创新、产品的差异化和知识产权保护（885791）”,这使我们开发的新设备有极强的竞争力和迅速扩大市场份额的能力。公司研发新产品的速度显著加快,过去通常需要三到五年开发一款新设备,现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备,并顺利进入市场,公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。公司持续加大研发创新力度,自主开发的各类新产品对标国际先进同类设备技术水准,多款机型经客户端验证,关键性能指标达到国际先进水平,部分指标优于海外标配设备。目前公司的五十多种设备产品已经覆盖了超过30%的前道集成电路设备产品,未来五年,公司将通过自主开发与外延并购,覆盖60%以上的集成电路高端设备市场和70%以上的先进封装（886009）设备市场,成为全球领先的高端设备平台型公司。问答环节主要内容:
问：请问公司如何展望2026年、2027年新签订单的增速？
答：2026年，公司新签订单体量和增速均达到历史新高。订单增速高于确认销售收入增速，全年在手订单充裕。下游各类客户需求旺盛，公司预计2027年订单将持续保持强劲的增长。
问：请问公司如何展望2027年收入的增长？
答：公司前三季度机台累计已有超过9300个反应台在国内外220余条生产线全面量产。业绩创新高，前三季度营业收入首次突破百亿规模，归母净利润增长241.31%。公司与供应链厂商紧密合作，持续提升交付能力。目前，公司在手订单充裕，大客户扩产需求旺盛，公司多款新品快速导入客户并持续推进，各类薄膜设备收入增速远高于公司平均，薄膜业务占比持续提升，将支撑公司2027年收入保持快速增长。
问：全球半导体设备（884229）及上游零部件需求旺盛，供给逐步趋紧，请问公司如何保证产品按时交付？
答：下游客户需求非常旺盛，零部件紧张是行业共同面临的挑战。中微公司（688012）近些年培养了多家国产核心零部件供应商，公司会持续加快导入国产零部件，同时推动供应商产能提升，支持未来产品如期交付。
问：请问公司导入国产零部件厂商对公司成本产生怎样的影响？
答：中长期看，规模采购、提升零部件国产化率是公司保持稳定毛利率的重要手段，公司与国内供应商紧密合作，建设健康的产业生态，提升国产零部件的规模与稳定性。
问：国内存储客户目前在4F 、3D存储等新技术做前沿布局，请问这些存储新技术对公司刻蚀、薄膜业务的影响？公司有哪些新设备的布局？
答：存储器件的3D化带来的工艺瓶颈主要体现在极高深宽比刻蚀和高深宽比填充，这正是中微公司（688012）的技术优势和积累最深的领域。针对3D存储，公司新推出多款先进的刻蚀及薄膜设备。公司新的ICP刻蚀设备Primo Angnova取得140:1高深宽比刻蚀结果和形貌控制能力，已付运至国内领先存储客户端认证。公司新的CCP刻蚀Primo XD-RIE极高深宽比刻蚀机，该设备支持70:1到90:1深宽比工艺，已付运客户端验证。针对先进逻辑和存储等器件工艺需求，中微公司（688012）正式推出Primo Domingo高选择性化学气相刻蚀设备。公司的CVD-W、HAR-W、ALD-W钨系列产品已经取得大批量订单，成为存储客户产线标配设备，累计出货超过500个反应台。公司也推出了下一代原子层钼沉积工艺的新设备，验证进展顺利。
问：请问公司PECVD、CUBS PVD、EPI等新产品的验证进展如何？
答：PECVD及CUBS PVD是薄膜沉积设备中价值占比高的产品。公司的PECVD设备具备16个反应台配置，采用了最新的等离子体源，具有更高的沉积速度，输出量较国内外标配设备提升80%到100%。PECVD氮氧叠层、碳掩膜等新品在客户端顺利验证中。公司的CUBS PVD设备配置14个反应腔、对称双路径设计，相较国内外标配设备大幅降低BS的电阻率，输出率提升50%至100%，获得多家头部客户认可，并已交付至国内先进逻辑器件研发线验证中。EPI设备是先进逻辑工艺中非常关键的设备，公司的减压外延设备已付运到先进制程客户端进入量产验证阶段，常压外延设备也在进入晶圆验证阶段。
问：请问公司下一代超高深宽比产品、薄膜类产品在先进存储客户的进展如何？
答：中微公司（688012）所开发的拥有完全自主知识产权的60:1高深宽比刻蚀设备已经成为客户标线设备，实现大批量的生产，产品的uptime超过90%，设备性能得到客户高度认可。下一代90:1超高深宽比刻蚀设备在性能、生产效率和稳定性方面全面升级，目前已在客户端验证，已经达到客户对超高深宽比技术的要求。应客户的要求，中微公司（688012）正在开发PECVD、PVD、ALD等薄膜设备，其中钨系列薄膜沉积产品已经取得了大批量的订单，实现规模化量产。新的PECVD设备在沉积速度、均匀性、输出量等关键指标已经达到国际领先水平；ALD钼也已经进入生产线顺利验证。中微公司（688012）有能力为客户的关键工艺提供集成化整体工艺解决方案。
问：请问公司目前NAND和DRAM订单的增长趋势分别如何？预计未来两大类应用的占比会有何变化？
答：前三季度，公司DRAM客户订单保持高于公司整体订单的增速，占比显著提升。NAND和DRAM客户订单合计占比在60%左右。伴随公司刻蚀产品和薄膜新品在DRAM客户的持续放量，NAND类客户和DRAM类客户的订单占比接近。此外，公司在先进逻辑10nm以下各个节点有全面的布局，产品验证顺利。
问：请问公司CMP业务的整合进展？量检测新品的进展如何？
答：公司于今年6月完成对杭州众硅的并购，目前正在推进全面整合以及共同销售，更多CMP机台在先进逻辑、存储客户的认证与放量还需要一段时间。量检测设备，公司只用了一年多的时间，已经开发出关键尺寸CD-SEM的Alpha（ALP）机台，产品较国际产品有更先进的设计，更高的输出量。后续会陆续开发高电压HV-SEM、缺陷复检的DR-SEM等机台。未来，公司将通过自研、并购实现对光学和电子束量检测设备的全面覆盖。
问：请问公司大平板设备的最新进展如何？未来有什么规划？
答：公司仅用18个月时间，就成功开发出重达150吨的OLED（885738） 8.6代线大平板PECVD设备，达到客户生产线±5%薄膜厚度均匀性要求，并顺利进入大生产线认证。未来，公司会陆续布局应用于OLED（885738） 8.6代线大平板应用的其他工艺设备。
问：请问公司中长期从刻蚀向平台型设备公司的战略规划，未来会继续覆盖哪些新的设备领域？
答：到2030年，公司将覆盖超60%的高端半导体设备（884229），其中包括刻蚀、薄膜、量检测和湿法等设备。同时，公司也将覆盖超70%的先进封装（886009）类设备。
问：请问公司对海外业务的发展有何展望？
答：中微公司（688012）自2004年成立以来，一贯的发展目标是成为全球第一梯队的半导体设备（884229）公司，一直致力于研发和生产有国际竞争力的半导体设备（884229）。公司具备较好的海外客户基础，目前在海外最先进逻辑客户已经累计交付约800个反应台。公司强调完全自主知识产权，产品的国际竞争力在不断提升，实现更小的占地面积，更高的输出量。公司在持续对接更多意向客户，未来会通过直接销售或者间接销售的方式去覆盖海外市场;
调研参与机构详情如下：
| 参与单位名称 | 参与单位类别 | 参与人员姓名 |
|---|---|---|
| ALPine Investment Management Limited | -- | -- |
| Ashler Capital | -- | -- |
| Avanda Investment Management | -- | -- |
| Aviva Investors Global Services Limited | -- | -- |
| BNP PARIBAS | -- | -- |
| British Columbia Investment Management Corporation | -- | -- |
| Citadel | -- | -- |
| Comgest Far East Limited | -- | -- |
| Fact Capital | -- | -- |
| Fullerton Fund Management Company Ltd | -- | -- |
| Government of Singapore Investment Corporation Pte Ltd | -- | -- |
| Harding Loevner | -- | -- |
| HSBC Global Asset Management(Hong Kong)Limited | -- | -- |
| HSZ(Hong Kong)Limited | -- | -- |
| Jain Global | -- | -- |
| Janus Henderson Investors(Singapore)Limited | -- | -- |
| J.P.Morgan Securities(Asia Pacific)Limited | -- | -- |
| Lake bleu capital | -- | -- |
| Lygh Capital | -- | -- |
| Macquarie | -- | -- |
| M&G Investment Management Limited | -- | -- |
| Morgan Stanley Investment Management | -- | -- |
| NEUMANNADVISORS | -- | -- |
| Polymer Capital Management(HK)Ltd | -- | -- |
| PolymerCapital Singapore Pte.Ltd. | -- | -- |
| SANFORD BERNSTEIN | -- | -- |
| Stillpoint | -- | -- |
| Tekne CapitalManagement,LLC | -- | -- |
| USS Investment Management Ltd | -- | -- |
| WFM Asia(HK)Limited | -- | -- |
| WHITE OAK CAPITAL PARTNERS PTE.LTD. | -- | -- |
| 上海东方证券（HK3958）资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海中域资产管理中心(有限合伙) | -- | -- |
| 上海偕沣资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海元昊投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海博笃投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海喜世润投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海开思私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 上海彤舜科技有限公司 | -- | -- |
| 上海德汇集团有限公司 | -- | -- |
| 上海悦众私募基金管理合伙企业(有限合伙) | -- | -- |
| 上海拓聚投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海汽车集团金控管理有限公司 | -- | -- |
| 上海涌贝资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海深积资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海添笙投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海清淙投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海犀浦 | -- | -- |
| 上海理臻投资管理有限公司 | -- | -- |
| 上海申银万国证券研究所有限公司 | -- | -- |
| 上海益和源资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海盛宇股权投资基金管理有限公司 | -- | -- |
| 上海科技创业投资(集团)有限公司 | -- | -- |
| 上海聚劲投资有限公司 | -- | -- |
| 上海证券有限责任公司 | -- | -- |
| 上海远海私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 上海道仁资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海道子天资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海酷望私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 上海金珀资产管理有限公司 | -- | -- |
| 上海钦沐资产管理合伙企业(有限合伙) | -- | -- |
| 上海银叶投资有限公司 | -- | -- |
| 世传资本 | -- | -- |
| 东北证券（000686）股份有限公司 | -- | -- |
| 东吴证券（601555）股份有限公司 | -- | -- |
| 东方证券（HK3958）股份有限公司 | -- | -- |
| 中保投资有限责任公司 | -- | -- |
| 中信保诚（HK2378）基金管理有限公司 | -- | -- |
| 中信建投（601066）基金管理有限公司 | -- | -- |
| 中信建投证券（HK6066）股份有限公司 | -- | -- |
| 中信证券（HK6030）股份有限公司 | -- | -- |
| 中信里昂证券有限公司 | -- | -- |
| 中加基金 | -- | -- |
| 中国人保（601319）资产管理有限公司 | -- | -- |
| 中国国际金融股份有限公司 | -- | -- |
| 中国平安（HK2318） | -- | -- |
| 中国银河（HK6881）证券股份有限公司 | -- | -- |
| 中庚基金管理有限公司 | -- | -- |
| 中欧基金 | -- | -- |
| 中泰证券（600918）股份有限公司 | -- | -- |
| 中邮创业基金管理股份有限公司 | -- | -- |
| 中邮证券有限责任公司 | -- | -- |
| 中銀國際研究有限公司 | -- | -- |
| 中银国际证券股份有限公司 | -- | -- |
| 中银基金管理有限公司 | -- | -- |
| 九泰基金管理有限公司 | -- | -- |
| 亘曦资产管理有限公司 | -- | -- |
| 交銀國際控股有限公司 | -- | -- |
| 保德信保险资产管理有限公司 | -- | -- |
| 信达澳亚基金管理有限公司 | -- | -- |
| 信达证券股份有限公司 | -- | -- |
| 光大证券（HK6178）股份有限公司 | -- | -- |
| 兴业基金 | -- | -- |
| 兴业证券（601377）股份有限公司 | -- | -- |
| 兴证全球基金管理有限公司 | -- | -- |
| 农银人寿 | -- | -- |
| 创金合信基金管理有限公司 | -- | -- |
| 前海人寿保险股份有限公司 | -- | -- |
| 北京橡果资产管理有限公司 | -- | -- |
| 北京沃虎私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 北京泓澄投资管理有限公司 | -- | -- |
| 北京神农投资管理股份有限公司 | -- | -- |
| 北京遵道资产管理有限公司 | -- | -- |
| 华创证券有限责任公司 | -- | -- |
| 华商基金管理有限公司 | -- | -- |
| 华夏基金 | -- | -- |
| 华宝基金管理有限公司 | -- | -- |
| 华泰证券（HK6886）(上海)资产管理有限公司 | -- | -- |
| 华泰证券（HK6886）股份有限公司 | -- | -- |
| 华泰金融控股(香港)有限公司 | -- | -- |
| 华源证券股份有限公司 | -- | -- |
| 华福证券有限责任公司 | -- | -- |
| 南京市创新投资集团有限责任公司 | -- | -- |
| 南京证券（601990）股份有限公司 | -- | -- |
| 南方工业资产管理有限责任公司 | -- | -- |
| 博时基金管理有限公司 | -- | -- |
| 博海汇金资产管理有限公司 | -- | -- |
| 博裕资本有限公司 | -- | -- |
| 博道基金管理有限公司 | -- | -- |
| 友邦人寿保险有限公司 | -- | -- |
| 和信证券投资咨询股份有限公司-郑州分公司 | -- | -- |
| 和谐健康保险股份有限公司 | -- | -- |
| 嘉实基金管理有限公司 | -- | -- |
| 国信证券（002736）股份有限公司 | -- | -- |
| 国华兴益保险资产管理有限公司 | -- | -- |
| 国投证券股份有限公司 | -- | -- |
| 国泰基金管理有限公司 | -- | -- |
| 国泰海通（HK2611）证券股份有限公司 | -- | -- |
| 国海证券（000750）股份有限公司 | -- | -- |
| 国盛证券（002670）股份有限公司 | -- | -- |
| 国联基金管理有限公司 | -- | -- |
| 国联安基金管理有限公司 | -- | -- |
| 国联民生（HK1456）证券股份有限公司 | -- | -- |
| 国金证券（600109）股份有限公司 | -- | -- |
| 圆信永丰基金管理有限公司 | -- | -- |
| 壹玖家族办公室 | -- | -- |
| 大和日华(上海)企业咨询有限公司 | -- | -- |
| 大和资本市场香港有限公司 | -- | -- |
| 大華繼顯(香港)有限公司 | -- | -- |
| 天治基金管理有限公司 | -- | -- |
| 天隼投资管理咨询(上海)有限公司 | -- | -- |
| 天风证券（601162）股份有限公司 | -- | -- |
| 太平基金管理有限公司 | -- | -- |
| 太平洋（601099）证券股份有限公司 | -- | -- |
| 太平洋（601099）资产管理有限责任公司 | -- | -- |
| 奇點資產管理有限公司 | -- | -- |
| 宁波耀松投资合伙企业(有限合伙) | -- | -- |
| 安徽海富投资管理有限公司 | -- | -- |
| 安聯投資 | -- | -- |
| 安达富资本 | -- | -- |
| 宝盈基金管理有限公司 | -- | -- |
| 富安达基金管理有限公司 | -- | -- |
| 富敦投资管理(上海)有限公司 | -- | -- |
| 富瑞金融集團香港有限公司 | -- | -- |
| 富达利泰管理咨询(上海)有限公司 | -- | -- |
| 山东金仕达投资管理有限公司 | -- | -- |
| 山西证券（002500）股份有限公司 | -- | -- |
| 工银瑞信基金管理有限公司 | -- | -- |
| 平安证券股份有限公司 | -- | -- |
| 广发基金 | -- | -- |
| 广发证券（HK1776）股份有限公司 | -- | -- |
| 广州汇川私募证券投资基金管理有限公司 | -- | -- |
| 广州联鑫基金管理有限公司 | -- | -- |
| 建銀國際證券有限公司 | -- | -- |
| 开源证券股份有限公司 | -- | -- |
| 招商基金管理有限公司 | -- | -- |
| 招商证券（600999）股份有限公司 | -- | -- |
| 拾贝投资管理(北京)有限公司 | -- | -- |
| 摩根士丹利（MS）基金管理(中国)有限公司 | -- | -- |
| 摩根士丹利（MS）证券(中国)有限公司 | -- | -- |
| 摩根大通（JPM）证券(中国)有限公司 | -- | -- |
| 新华资产管理股份有限公司 | -- | -- |
| 方正富邦基金管理有限公司 | -- | -- |
| 方正证券（601901）股份有限公司 | -- | -- |
| 方瀛研究與投資(香港)有限公司 | -- | -- |
| 易方达基金管理有限公司 | -- | -- |
| 星展唯高達香港有限公司 | -- | -- |
| 星展銀行(香港)有限公司 | -- | -- |
| 普徠仕香港有限公司 | -- | -- |
| 景林资产管理有限公司 | -- | -- |
| 朱雀基金管理有限公司 | -- | -- |
| 杭州博衍私募基金管理合伙企业(有限合伙) | -- | -- |
| 杭州正鑫私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 柏駿資本管理(香港)有限公司 | -- | -- |
| 民生加银基金管理有限公司 | -- | -- |
| 永赢基金管理有限公司 | -- | -- |
| 汇丰前海证券有限责任公司 | -- | -- |
| 汇丰晋信基金管理有限公司 | -- | -- |
| 汇安基金管理有限责任公司 | -- | -- |
| 法国巴黎银行(中国)有限公司 | -- | -- |
| 泰康资产管理(香港)有限公司 | -- | -- |
| 泽辉资本 | -- | -- |
| 浙商证券（601878）股份有限公司 | -- | -- |
| 浙江墨钜资产管理有限公司 | -- | -- |
| 浙江省创新投资私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 浙江蓝林科技有限公司 | -- | -- |
| 海南远思私募基金管理合伙企业(有限合伙) | -- | -- |
| 海富通基金管理有限公司 | -- | -- |
| 海通國際研究有限公司 | -- | -- |
| 深圳市凯丰投资管理有限公司 | -- | -- |
| 深圳市裕晋投资有限公司 | -- | -- |
| 深圳明诚私募证券基金管理有限公司 | -- | -- |
| 深圳菁英时代资本管理有限公司 | -- | -- |
| 混沌天成國際資產管理有限公司 | -- | -- |
| 湖南聚力财富私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 瀚伦投资顾问(上海)有限公司 | -- | -- |
| 爱建证券有限责任公司 | -- | -- |
| 玖鹏资产 | -- | -- |
| 瑞士銀行香港分行 | -- | -- |
| 瑞穗證券亞洲有限公司 | -- | -- |
| 瑞银（UBS）证券有限责任公司 | -- | -- |
| 璞和投资 | -- | -- |
| 申万菱信基金管理有限公司 | -- | -- |
| 百达世瑞(上海)私募基金管理有限公司 | -- | -- |
| 盛博香港有限公司 | -- | -- |
| 睿远基金管理有限公司 | -- | -- |
| 立格资本 | -- | -- |
| 红华资本管理(深圳)有限公司 | -- | -- |
| 红土创新基金管理有限公司 | -- | -- |
| 纽尔利资本 | -- | -- |
| 美林(亞太)有限公司 | -- | -- |
| 群益证券投资信托股份有限公司 | -- | -- |
| 耕霁(上海)投资管理有限公司 | -- | -- |
| 腾跃基金 | -- | -- |
| 花旗（C）环球金融亚洲有限公司 | -- | -- |
| 苏州龙远投资管理有限公司 | -- | -- |
| 融捷投资控股集团有限公司 | -- | -- |
| 融通基金管理有限公司 | -- | -- |
| 西部证券（002673）股份有限公司 | -- | -- |
| 览众投资管理有限公司 | -- | -- |
| 诚通证券股份有限公司 | -- | -- |
| 诺安基金管理有限公司 | -- | -- |
| 贝莱德（BLK） | -- | -- |
| 财达证券（600906）股份有限公司 | -- | -- |
| 财通基金管理有限公司 | -- | -- |
| 资衡(上海)商业管理有限公司 | -- | -- |
| 赛富投资基金 | -- | -- |
| 赛德堡资本(英国)有限公司 | -- | -- |
| 远信投资 | -- | -- |
| 道明资产管理公司 | -- | -- |
| 鄧普頓資產管理有限公司 | -- | -- |
| 野村國際(香港)有限公司 | -- | -- |
| 金鹰基金管理有限公司 | -- | -- |
| 长城基金管理有限公司 | -- | -- |
| 长城财富保险资产管理股份有限公司 | -- | -- |
| 长江证券（000783）股份有限公司 | -- | -- |
| 长盛基金管理有限公司 | -- | -- |
| 陆家嘴（600663）国际信托有限公司 | -- | -- |
| 霸菱投资管理(上海)有限公司 | -- | -- |
| 青岛国信产融控股(集团)有限公司 | -- | -- |
| 首域盈信资产管理 | -- | -- |
| 香港上海汇丰银行有限公司 | -- | -- |
| 高盛（GS）資產管理(香港)有限公司 | -- | -- |
| 高维私募基金管理(上海)有限公司 | -- | -- |
| 鲍尔赛嘉(上海)投资管理有限公司 | -- | -- |
| 鲸域资产管理(上海)有限公司 | -- | -- |
| 麦格理资本 | -- | -- |
