中证报中证网讯(记者孟培嘉)上交所11月9日公告显示，上交所上市审核委员会定于11月16日召开审议会议，审议江苏神州半导体（881121）科技股份有限公司的科创板首发申请。神州半导体（881121）成立于2016年，注册地在江苏扬州，保荐机构为国泰海通（601211）证券。
根据招股说明书，神州半导体（881121）主营半导体设备（884229）用等离子体电源系统，产品覆盖等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统和高压脉冲电源系统三类，另为芯片产线提供进口电源的技术支持服务。
据介绍，等离子体源技术被广泛应用在半导体（881121）、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗器械（881144）和科研仪器等领域。特别是在半导体（881121）领域，等离子体源技术是实现半导体（881121）芯片先进制程的必要技术手段。
在半导体（881121）等离子体电源系统领域，公司是中国大陆产品布局全面、技术先进、服务完善的企业。公司自研的多款等离子体电源系统产品已批量应用于我国先进制程芯片产线，填补了国内高端等离子体电源系统的应用空白。此外，公司还完成了多项储备技术与产品研发攻关。
目前，公司自研的产品已批量导入中微公司（688012）、拓荆科技（688072）、北方华创（002371）等国内头部半导体设备（884229）厂商。在技术支持服务方面，公司已发展成为国内规模领先的等离子体电源系统专业技术支持服务商，为全球主要芯片产线提供等离子体电源系统的检测、维修和性能升级等技术支持服务。
业绩方面，2026年1至9月，公司营业收入为6.65亿元，同比增长24.15%；归母净利润为2.23亿元，同比增长19.19%；扣非净利润为2.14亿元，同比增长16.02%。三项指标均超过2025年全年水平。
2023年至2025年，公司营业收入复合增长率为58.31%。
此次上市，公司拟募集资金投向先进工艺节点集成电路领域电源类零部件研发及产业化项目、技术支持服务体系升级扩容项目、上海产业化基地建设项目、技术研发创新中心建设项目。
