晶盛机电取得晶体生长炉专利,实现偏心引晶保证晶体生长质量
2024年3月14日消息,据国家知识产权局公告,浙江晶盛机电(300316)股份有限公司取得一项名为“晶体生长炉“的专利,授权公告号CN115821370B,申请日期为2022年10月。
专利摘要显示,本发明涉及一种晶体生长炉,该晶体生长炉包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构,操纵机构设置于机架,提拉杆设置于操纵机构,操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴,第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动,第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动;炉室包括具有腔体的炉体和盖合于炉体的炉盖,炉盖上设有避让通道,提拉杆穿过避让通道伸入腔体,且避让通道允许提拉杆水平移动;密封机构套设于提拉杆,用于盖封避让通道。本发明的优点在于:通过在炉盖上设置避让通道,从而允许提拉杆水平运动,实现偏心引晶。在晶体生长的过程中,密封机构将避让通道密封,防止外界空气中的氧气等杂质进入炉室,从而保证晶体的生长质量。
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