英杰电气：静电卡盘电源已经处于批量供货阶段

来源： 证券日报网
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　　证券日报网讯英杰电气（300820）3月28日在互动平台回答投资者提问时表示，公司在上海展会发布的半导体新品，包括RPS远程等离子源以及E-Chuck静电卡盘电源，作为高技术要求且具备国产替代意义的产品，目前已积极推进市场验证工作。基于产品推广策略及客户合作流程，公司已向部分目标客户送样进行验证，静电卡盘电源已经处于批量供货阶段。公司一直致力于通过技术创新和产品优化，加速各类电源新品在市场上的应用落地，推动半导体产业相关领域的国产化进程。

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