根据最新披露的定期数据表明，截止2025年9月30日，该ETF持仓最多的股票为汇川技术（300124），占净值比例为9.97%。该ETF前十大持仓股如下表所示：
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| ETF前十重仓股（按占净值比例）一览表 | ||||
| 股票简称 | 股票代码 | 持股数（万股） | 持仓市值（万元） | 占净值比例（%） |
|---|---|---|---|---|
| 汇川技术（300124） | 300124 | 65.78 | 5513.68 | 9.970 |
| 科大讯飞（002230） | 002230 | 86.33 | 4838.57 | 8.750 |
| 石头科技（688169） | 688169 | 13.63 | 2859.87 | 5.170 |
| 大华股份（002236） | 002236 | 131.03 | 2640.25 | 4.770 |
| 中控技术（688777） | 688777 | 41.69 | 2296.06 | 4.150 |
| 大族激光（002008） | 002008 | 55.72 | 2268.36 | 4.100 |
| 双环传动（002472） | 002472 | 44.91 | 2236.97 | 4.040 |
| 科沃斯（603486） | 603486 | 15.16 | 1629.70 | 2.950 |
| 机器人 | 300024 | 82.92 | 1616.94 | 2.920 |
| 云天励飞（688343） | 688343 | 16.39 | 1450.43 | 2.620 |
