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据悉阿斯麦新一代EUV光刻机已具备量产条件
2026-02-27 07:45:34
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荷兰光刻设备制造商阿斯麦(ASML)高管表示,公司新一代极紫外光刻机(886054)已准备就绪,芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约4亿美元,为初代EUV机型的两倍。阿斯麦(ASML)首席技术官马尔科.皮特斯称,该设备已累计加工约50万片硅晶圆,停机时间极低,图案精度达到量产标准。(第一财经)

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