荷兰光刻设备制造商阿斯麦(ASML)高管表示,公司新一代极紫外光刻机(886054)已准备就绪,芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约4亿美元,为初代EUV机型的两倍。阿斯麦(ASML)首席技术官马尔科.皮特斯称,该设备已累计加工约50万片硅晶圆,停机时间极低,图案精度达到量产标准。(第一财经)

荷兰光刻设备制造商阿斯麦(ASML)高管表示,公司新一代极紫外光刻机(886054)已准备就绪,芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约4亿美元,为初代EUV机型的两倍。阿斯麦(ASML)首席技术官马尔科.皮特斯称,该设备已累计加工约50万片硅晶圆,停机时间极低,图案精度达到量产标准。(第一财经)