据中微公司(688012)消息,中微半导(688380)体设备(上海)股份有限公司宣布,将携全新产品与前沿技术方案,参加于2026年3月25日至27日在上海新国际博览中心举办的SEMICON China 2026行业盛会。同期,公司也将参与于3月22日至24日在上海浦东嘉里大酒店(HK0045)召开的集成电路科学技术大会(CSTIC 2026),并诚邀海内外同行莅临交流。
在本届SEMICON China展会上,中微公司(688012)将于N3馆3417展位设立展台。展会期间的主要活动亮点包括:
亮点一:中微公司(688012)新品发布会
发布会定于3月25日10:00至11:30,在N4-M46会议室举行,届时将介绍公司最新产品动态。
亮点二:产品讲解与现场互动
展会期间,公司技术专家将在展位现场进行产品讲解,并设有互动环节。
亮点三:CSTIC前瞻技术分享
中微公司(688012)技术专家将在CSTIC 2026大会上带来多场前沿技术演讲,具体安排如下:
在“Symposium III: Dry & Wet Etch and Cleaning”专题中,关颖欣、刘斌、霍芳林、周亚将分别于3月23日就低温等离子体刻蚀、高深宽比沟槽刻蚀、HK-MG工艺中的多晶硅去除及超深通孔介质刻蚀优化等主题发表演讲。
在“Symposium IV: Thin Film, Plating and Process Integration”专题中,孙越翔、张同文将分别于3月23日就用于先进图像传感器(885946)的动态可调光学滤光层及先进封装(886009)中高深宽比TSV的PVD解决方案进行分享。
在“Symposium X: AI & IC Manufacturing”专题中,王帅、张光耀、朱家欣、王静琪、毛慧杰、张家璇等多位专家将于3月22日就物理-数据混合建模、实时虚拟计量、贝叶斯学习优化、数据驱动的根因分析与设备健康状态评估,以及温度控制等人工智能(885728)在半导体(881121)制造中的应用主题发表演讲。
本届SEMICON China展会实行实名入场制度,参观者需携带身份证、护照或港澳台通行证。中微公司(688012)诚挚期待与业界同仁在上海相聚。
原文:邀请函 | 中微公司诚邀您相聚SEMICON China 2026(来源:中微公司(688012))
