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盛美上海发布“盛美芯盘”,全新产品架构闪亮登场
2026-03-25 18:07:00
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当人类仰望浩瀚星空,从探索星辰到智能算法,一场微观世界的全球革命,正在改写人类文明进程。当前,人类对算力的追求已然超越地球表面,迈向更广阔的地球外太空。这份永不止步的探索精神,正是盛美(ACMR)深耕半导体(881121)、持续创新的初心,也是我们打造八大行星系列产品的初衷。

迈向 AI 时代的黎明,身处半导体(881121)创新的深水区,每一次突破,都源于我们的不懈探索,也离不开行业内每一位上下游伙伴的鞭策与支持。今天,盛美上海(688082)宣布对公司产品线组合进行重组及品牌焕新,正式推出全新产品组合架构“盛美(ACMR)芯盘”。在“盛美(ACMR)芯盘”的全新架构体系下,盛美上海(688082)的产品被划分为八大独立产品系列,以太阳系的八大行星命名,均对应半导体(881121)制造流程中的一项核心工艺环节。

八大独立产品系列

地球系列

地球是生命之源,清洗设备作为“地球”系列产品,也正是盛美(ACMR)最早启航行往的一颗“行星”。在2009年,首台清洗设备成功入驻海力士(无锡)。发展至今,盛美(ACMR)坚持自主创新,凭借 SAPS/TEBO 兆声波技术、Tahoe 清洗技术、单片SPM喷嘴清洗技术,均匀大氮气泡鼓泡刻蚀技术,超临界二氧化碳三维清洗干燥技术等原创技术,以及全套湿法产品线,实现芯片制造 95% 清洗工艺全覆盖,为芯片生产的良率提升保驾护航。

木星系列

“木星”系列是盛美(ACMR)晶圆级先进封装(886009)设备。盛美上海(688082)自 2012 年布局先进封装(886009)湿法领域,陆续开发出湿法去胶设备、湿法金属刻蚀设备、涂胶设备、显影设备和硅蚀刻设备,一步步助力三维集成封装技术实现跨越式发展。

金星系列

金星象征稳定与可靠,盛美(ACMR)“金星”系列电镀设备亦传承这一内核,始终保持稳定输出,坚守品质如一。自 2016 年斩获首台先进封装(886009)电镀机订单,到 2019 年铜互联多阳极电镀设备正式实现客户端量产,盛美上海(688082)凭借独有的多阳极技术,可完成圆形、方形片的水平电镀工艺,更实现了前道大马士革、中道TSV、后道先进封装(886009)全流程电镀工艺全覆盖。

火星系列

盛美(ACMR)将公司的炉管设备命名为“火星”系列。2020年,盛美(ACMR)的火星系列获得首台立式炉订单,迈出了进军干法设备市场的第一步,正如火星象征的突破与坚韧,盛美(ACMR)“火星”系列实现了从LPCVD、中温高温回火到原子级沉积ALD的全覆盖,是我们凭实力与韧劲开拓出的全新增长极。

水星系列

水星被称为信使之神,代表速度快、定位准。盛美(ACMR)“水星”系列 是涂胶显影系列设备,该系列于2022 年首次推出,精准配合光刻环节,全力保障生产效率,去年第三季度推出300WPH高产出KrF设备,真正实现了后发先至。

土星系列

“土星”系列是盛美(ACMR)的等离子体化学气相沉积设备。土星以光环闻名,象征时间沉淀与持久可靠,这也正是盛美上海(688082)研发“土星”系列的初心。研发至今,盛美(ACMR)凭着全球独有的三栈等离子腔设计以及有效的RF射频控制技术,一点点构筑起芯片微观大厦的坚实结构。

天王星系列

面板级封装设备是特立独行的“天王星”。天王星象征突破与创新,2024年,为响应AI浪潮大尺寸AI芯片对面板先进封装(886009)的市场需求,盛美(ACMR)顺势推出“天王星”系列,带来面板级先进封装(886009)电镀设备、负压清洗设备、边缘刻蚀设备,助推芯片封装迈向面板级变革。

海王星系列

“海王星”系列代表无应力抛光设备,海王星象征深邃与远见,该系列产品,同时实现片内以及晶粒内的原子级别抛光,把平坦化技术推向崭新高度,满足未来高算力AI芯片制造的严苛需求,迈出盛美上海(688082)布局未来的关键一步。

盛美上海总经理王坚表示:

此次的全新产品线组合重组,清晰映射出公司自2005年成立以来的发展轨迹——从单一清洗产品线,逐步拓展为品类齐全、协同互补的多元化产品矩阵。通过将全系列产品纳入清晰、统一的架构体系,我们将进一步强化“技术差异化、产品平台化及客户全球化”服务的长期发展战略。

盛美(ACMR)的“芯盘”的星图中,八大行星并非孤立运转,而是围绕着一颗最核心的“太阳”转动——这颗太阳,就是公司的客户群体。盛美(ACMR)始终以客户为中心,如行星绕日般坚守核心、精准同向,以恒久不变的向心力与极致专注,提供最优质、最贴心的服务。客户如同太阳,赋予我们光与热。客户既给予我们最坚实的支持,也不断提出新需求、新期待,驱动盛美(ACMR)持续迭代升级。

星盘的意义,在于在未知中锚定方向;未来 AI 发展所需的核心技术与关键设备,仍有待我们持续探索。盛美上海(688082)始终坚信,半导体(881121)创新从来不是孤军奋战,而是如太阳系群星一般,各自闪耀,又彼此协同共进。盛美(ACMR)愿与国内外客户及零部件伙伴同频共振、并肩前行,共同开展设备研发与新工艺探索,携手破解全球半导体(881121)行业难题。

注:本文中涉及“宇宙”、“地球”、“行星”、“星图”、“太阳”以及“八大独立产品系列”中八大行星与产品类别的对应等描述,均为艺术化比喻,仅用于指代产品的架构体系划分,不代表产品功能与天文现象或航空航天(563380)存在关联,请以产品实际功能为准。

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