三星电子已为平泽半导体(881121)生产基地P5晶圆厂集群的首个阶段PH1订购了70余台光刻机(886054),为该阶段2027年的投运做好准备。平泽P5PH1所需的这些光刻机(886054)来自ASML和佳能,其中约20台为ASML的EUV曝光系统。P5PH1将用于1c nm制程DRAM生产,将同时制造通用内存和HBM。(科创板日报)
三星电子已为平泽半导体(881121)生产基地P5晶圆厂集群的首个阶段PH1订购了70余台光刻机(886054),为该阶段2027年的投运做好准备。平泽P5PH1所需的这些光刻机(886054)来自ASML和佳能,其中约20台为ASML的EUV曝光系统。P5PH1将用于1c nm制程DRAM生产,将同时制造通用内存和HBM。(科创板日报)