据华海清科（688120）消息，近日，华海清科（688120）全资子公司芯嵛半导体（881121）(上海)有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。公司表示，这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造（884227）头部企业后，华海清科（688120）离子注入系列装备在存储芯片（886042）领域的又一重要进展。