光刻机（886054）板块短线拉升，美迪凯（688079）涨超10%，波长光电（301421）、洪田股份（603800）、富乐德（301297）、百傲化学（603360）、茂莱光学（688502）等跟涨。相关ETF方面，半导体设备ETF易方达(159558)涨3.72%，成交额6.54亿元，科创半导体ETF华夏(588170)涨2.13%，成交额20.91亿元。