盛美上海：公司定向增发的募投项目临港mini-line的建设取得积极进展

证券日报网6月18日讯，盛美上海（688082）在接受调研者提问时表示，公司定向增发的募投项目临港mini-line的建设取得积极进展，这是一条在100级洁净室环境下运行的完整实验性研发产线，整合了盛美（ACMR）自研设备、第三方工艺设备以及量测设备，能够在接近客户端真实量产环境的条件下开展工艺验证与联合研发。临港mini-line带来的不只是研发效率的提升，更重要的是推动了公司新产品开发与交付模式的升级。过去，新设备通常需要直接进入客户端开展较长周期（883436）的验证与工艺调试；而现在，公司可以先在临港mini-line上基于客户产品需求进行工艺验证与参数优化，出货前就完成针对客户特定工艺需求的预验证，在满足客户特定工艺要求后，才交付客户端进行最终验证，大大加快了设备在客户端的验证周期（883436）。该内部工艺线可覆盖清洗、电镀、涂胶显影、炉管及PECVD等全品类设备流片验证，降低外协测试成本，同时能够提前模拟各类制程工况，有助于优化设备稳定性与颗粒控制指标，还可配合客户开展下一代工艺联合开发。目前，这一模式已经展现出积极成效。公司4月出机的首台PECVD SiCN设备，正是在临港完成工艺预验证后出机，直接进入客户端最终验证阶段，显著缩短了客户端验证周期（883436）。此外，公司高温单片SPM产品也在临港与主要客户完成了数月联合测试及工艺参数优化。在完成15纳米颗粒控制性能验证后，该产品已成功获得多家客户批量订单。这些案例充分体现了临港mini-line在加速新产品开发、工艺验证及客户导入方面的重要战略价值。