光刻机（886054）板块大幅高开，永新光学（603297）、海立股份（600619）、波长光电（301421）、张江高科（600895）一字涨停，捷众科技高开超20%，茂莱光学（688502）、蓝英装备（300293）高开超10%，凯美特气（002549）、东方嘉盛（002889）、福光股份（688010）、新莱应材（300260）、华辰装备（300809）跟涨。
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