上证报中国证券网讯(记者窦世平)屹唐股份（688729）近日被纳入上证科创板50成份指数和MSCI中国A股在岸指数，相关调整分别于9月11日和8月31日收盘后生效。自2025年7月登陆科创板以来，屹唐股份（688729）正持续推进产品研发、市场拓展和产能建设。
公开资料显示，屹唐股份（688729）主要从事集成电路制造（884227）设备研发、生产和销售，目前在中国、美国、德国设有研发与制造基地。据介绍，公司客户覆盖全球前十大芯片制造商，产品应用于逻辑芯片、存储芯片（886042）、功率器件及先进封装（886009）等领域。
从产品结构看，干法去胶设备和快速热处理设备是公司传统优势产品。公司援引国际权威分析机构统计数据介绍，其干法去胶设备和快速热处理设备全球市场份额均位居第二。与此同时，公司正在加快干法刻蚀及等离子体表面处理业务拓展。
公司介绍，新一代先进干法刻蚀设备国内新客户导入验证正在推进，新签订单逐步放量，同类刻蚀设备已首次进入欧洲市场；先进等离子体表面处理和材料改性设备也已通过多家客户量产验证并获得重复订单。此外，公司正在研发新型金属刻蚀、晶边刻蚀和沉积、高选择比刻蚀以及多腔体工艺集成平台等产品，部分项目已进入客户端验证阶段。
研发方面，2026年上半年，屹唐股份（688729）研发投入占营业收入比例为17.61%，同比提升2.83个百分点。截至6月底，公司研发人员占员工总数的31.36%，其中硕士及以上学历人员占比超过50%；累计申请专利781项，其中发明专利779项，累计获得授权专利522项。
伴随产品线扩展，公司也在继续提升生产交付能力。位于北京经开区的集成电路装备研发制造服务中心已实现干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理三大类设备批量生产。2026年，公司启动境内现有研发生产基地升级改造，并规划新的研发生产基地，以满足中长期研发和生产需求。
经营质量方面，2026年上半年，公司经营活动产生的现金流量净额为6.05亿元，同比大幅改善。公司同时推进供应链多元化和本地化，提升关键零部件国产化率。
此次纳入科创50（1B0688）指数及MSCI中国A股在岸指数，有望进一步提升屹唐股份（688729）在境内外资本市场的关注度。对公司而言，后续产品验证和订单放量进展，以及产能建设能否匹配客户扩产需求，将成为市场观察其成长性的重点。
