至纯科技触及涨停 28纳米节点设备开发已全部完成

上证报中国证券网讯(记者严晓菲)10月12日，至纯科技（603690）盘中快速拉升触及涨停，截至11时21分，该股涨超6%。

公司日前在回复投资者提问时称，公司半导体（881121）制程设备主要服务于集成电路领域的硅基芯片制造企业，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后，能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体（881121）特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前，28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。