记者获悉，微导纳米（688147）将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺，攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。本次新品亮相标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。(科创板日报)
微导纳米将发布PVD新品 补齐三大薄膜沉积路线产品布局
2026-10-14 14:22:30
来源：同花顺7x24快讯
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记者获悉，微导纳米（688147）将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺，攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。本次新品亮相标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。(科创板日报)
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